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题名超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计
被引量:4
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作者
刘朋
王水弟
杨宝和
陈为红
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机构
清华大学微电子学研究所
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出处
《实验技术与管理》
CAS
2003年第6期15-19,共5页
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文摘
本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.
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关键词
超大规模集成电路
超纯水制备系统
流程
水质
自动化
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分类号
TN47
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ085
[化学工程]
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题名半导体超纯水中微粒子监测故障与对策
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作者
温鑫
郑伟
顾凯凯
蔡鹏鹏
杨文杰
李霆
韩迪凯
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机构
中国电子工程设计院股份有限公司
英诺赛科(苏州)半导体有限公司
北京世源希达工程技术有限公司
英诺赛科(珠海)科技有限公司
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出处
《洁净与空调技术》
2024年第3期53-56,共4页
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基金
国家重点研发计划“政府间国际创新合作”重点专项(2023YFE0114100)。
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文摘
微粒子是半导体超纯水中核心的微污染控制指标,在线监测100nm和50nm粒子数浓度成为保障12英寸半导体生产工艺用水的关键措施。在超纯水制备系统的配送点(POD),激光粒子计数器(LPC)发生监测报警,影响了制备系统的运行和工艺设备的生产预警。研究简述了超纯水中颗粒物对半导体生产工艺的影响,分析了微纳气泡(MNBs)被光感应器累计测量导致计数器误判报警的原因。通过采样解吸系统(SDS)的中试试验,消除了气泡颗粒形成的83%的粒子浓度干扰,还原了真实的在线检测值(平均粒子浓度0.06pcs/mL),为半导体工厂湿法清洗的质量监控提供了稳定保障。
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关键词
超纯水
超纯水制备系统
配送点
微纳气泡
微粒子
激光粒子计数器
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Keywords
Ultrapure water
Ultrapure water preparation system
Point of delivery
Micronano bubble
Nanoparticle
Laser particle counter
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分类号
TP3
[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
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