超纯水制造中离子交换技术的进展

本文从超纯水制造的一般流程、离子交换技术应用历史、离子交换工艺的改进及离子交换树脂再生工艺的优化几个方面对离子交换技术在超纯水制造中的进展进行了综述。

半导体工业超纯水的技术指标及其制备概述

半导体工业需要大量的超纯水,随着半导体工业的发展,对超纯水水质的要求日趋严格。当前半导体工业的超纯水的水质指标要求,甚至严格于我国国标电子水的最高标准要求,如微粒子,TOC,电阻率,溶解氧等。因此,相比于其他行业的超纯水,需要更加严格的深度处理技术,如深度处理颗粒物,有机物,深度脱盐,深度脱气技术等等。