PCVD合成超纯石英玻璃工艺研究（英文）

采用PCVD方法制备超纯石英玻璃工艺中,等离子体输出功率决定了炉膛内温度场。通过气体不同温度时的电导率计算等离子体功率和效率,使用不同电导率的工作气体,导致等离子体功率改变,炉膛内温度场发生变化。使用空气作为工作气体时电导率大,输出功率达到40 k W,炉膛温度高于使用氧气,为PCVD方法合成超纯石英玻璃提供了适宜的温度场。

物理处理在超纯石英制备中的作用

石英提纯是指除去石英矿物中的杂质,进而获得高纯度石英砂的一种高难度矿物处理技术,由于目前高效的提纯技术仍面临国外的技术壁垒,因此超纯石英作为高新技术产品,其制备工艺与制备方法成为限制高纯石英广泛使用的主要障碍。近年来,随着超纯石英在半导体芯片、太阳能电池、光伏产业和平板显示器等领域的应用需求迅速增长,优化超纯石英提纯技术具有十分重要的意义。本文通过系统总结超纯石英提纯工艺当中的物理处理过程,探究和分析了物理处理对于石英提纯的作用,并且对超纯石英提纯技术的发展提出展望。