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微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究 被引量:2
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作者 李莉莉 丁明清 +3 位作者 杜英华 蔡军 胡银富 冯进军 《真空电子技术》 2014年第4期62-64,71,共4页
超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表明,合成的U... 超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表明,合成的UNCD膜表面光滑平整,晶粒为纳米尺度,断面结构致密。X射线衍射分析显示,超纳米晶金刚石薄膜主要是以(220)取向为主的多晶体结构,计算得到的平均晶粒尺寸为10nm。拉曼光谱分析呈现出典型的超纳米晶金刚石特性,膜中存在一定的sp2相。UNCD的光学透过率测试显示:在波长≥4μm范围内,光学透过率≥60%。 展开更多
关键词 太赫兹 微波真空器件 微波等离子体化学气相沉积 超纳米晶金刚石
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基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
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作者 周亮 王兵 +3 位作者 熊鹰 叶勤燕 王东 吴高华 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期75-78,共4页
通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗... 通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗糙度为16.56 nm,薄膜平均生长速率约为0.6μm/h。此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法。 展开更多
关键词 富勒烯C60 超纳米晶金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积
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340 GHz宽带金刚石输能窗的设计优化与试验研究
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作者 张琳 潘攀 +5 位作者 李莉莉 高大川 李亚南 马可心 蔡军 冯进军 《真空电子技术》 2024年第5期83-85,92,共4页
针对340 GHz行波管用金刚石输能窗的宽带传输要求,基于多晶金刚石膜和微米晶-超纳米晶金刚石复合膜,开展了金刚石输能窗的优化设计与试验验证研究。研究结果表明,多晶金刚石输能窗在320~363 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-3 dB... 针对340 GHz行波管用金刚石输能窗的宽带传输要求,基于多晶金刚石膜和微米晶-超纳米晶金刚石复合膜,开展了金刚石输能窗的优化设计与试验验证研究。研究结果表明,多晶金刚石输能窗在320~363 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-3 dB;微米晶-超纳米晶复合金刚石输能窗在313~385 GHz带宽内S_(11)<-15 dB,S_(21)>-2.5 dB,同比工作带宽增加近2倍,有效拓展了金刚石输能窗的工作带宽。 展开更多
关键词 340 GHz行波管 输能窗 微米-纳米复合金刚石薄膜 带宽
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Role of plastic deformation in tailoring ultrafine microstructure in nanotwinned diamond for enhanced hardness 被引量:4
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作者 胡文涛 温斌 +8 位作者 黄权 肖建伟 于栋利 王雁宾 赵智胜 何巨龙 柳忠元 徐波 田永君 《Science China Materials》 SCIE EI CSCD 2017年第2期178-185,共8页
Nanotwinned diamond(nt-diamond),which demonstrates unprecedented hardness and stability,is synthesized through the martensitic transformation of onion carbons at high pressure and high temperature(HPHT).Its hardne... Nanotwinned diamond(nt-diamond),which demonstrates unprecedented hardness and stability,is synthesized through the martensitic transformation of onion carbons at high pressure and high temperature(HPHT).Its hardness and stability increase with decreasing twin thickness at the nanoscale.However,the formation mechanism of nanotwinning substructures within diamond nanograins is not well established.Here,we characterize the nanotwins in nt-diamonds synthesized under different HPHT conditions.Our observation shows that the nanotwin thickness reaches a minimum at ~20 GPa,below which phase-transformation twins and deformation twins coexist.Then,we use the density-functional-based tight-binding method and kinetic dislocation theory to investigate the subsequent plastic deformation mechanism in these pre-existing phase-transformation diamond twins.Our results suggest that pressure-dependent conversion of the plastic deformation mechanism occurs at a critical synthetic pressure for nt-diamond,which explains the existence of the minimum twin thickness.Our findings provide guidance on optimizing the synthetic conditions for fabricating nt-diamond with higher hardness and stability. 展开更多
关键词 nanotwinned diamond high temperature and high pressure(HTHP) plastic deformation HARDNESS
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