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超薄抗粘膜的“自厚度限制的”等离子体聚合
1
作者
蒋永鹂
《国外核聚变与等离子体应用》
1997年第6期70-75,共6页
关键词
自厚度限制
等离子体聚合
超薄抗粘膜
薄膜
下载PDF
职称材料
题名
超薄抗粘膜的“自厚度限制的”等离子体聚合
1
作者
蒋永鹂
出处
《国外核聚变与等离子体应用》
1997年第6期70-75,共6页
关键词
自厚度限制
等离子体聚合
超薄抗粘膜
薄膜
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
超薄抗粘膜的“自厚度限制的”等离子体聚合
蒋永鹂
《国外核聚变与等离子体应用》
1997
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