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空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪研究 被引量:22
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作者 梁静秋 梁中翥 +3 位作者 吕金光 秦余欣 田超 王维彪 《中国光学》 EI CAS CSCD 2015年第2期277-298,共22页
针对目前环境、医疗、空间、气象、军事及安全等领域对傅里叶变换红外光谱仪微小型化、轻量化及固态化的迫切需求,提出并研究了一种以MOEMS多级微反射镜为核心器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪。在理论研究方面,建立了空间调制... 针对目前环境、医疗、空间、气象、军事及安全等领域对傅里叶变换红外光谱仪微小型化、轻量化及固态化的迫切需求,提出并研究了一种以MOEMS多级微反射镜为核心器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪。在理论研究方面,建立了空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪的物理模型,探究了该系统的光场分割与空间采样的光学原理;分析了多级微反射镜的衍射效应,提出了一种通过补边抑制衍射噪声抑制方法;进行了多级微反射镜采样误差的分析,并提出了基于最小二乘拟合的修正算法;通过对光源空间相干性、准直系统像差以及入射光场均匀性的分析,确定了光学系统的总体设计指标;通过对多级微反射镜基片加工精度、分束器材料色散特性和膜层透射效率等的计算分析,确定了干涉系统的设计方法与技术参数。在核心技术方面,提出了两个多级微反射镜的3种制作方法,分析了制作误差的来源及对系统性能的影响。通过工艺设计及实验条件探索,分别采用电铸法、真空镀膜法以及斜面倾角叠片法制作了两个多级微反射镜。在系统设计方面,进行了红外准直与缩束系统的光学设计,对整体光机系统进行了建模仿真,分析了杂散光噪声的来源。在图谱处理方面,利用过零采样方式,通过图像分割算法,获取了干涉图采样序列;通过对干涉图序列的插值、补零、延拓与卷积方法,完成了光谱相位误差的校正;通过离散傅里叶变换解调,实现了由干涉图像到信号光谱的数据反演。最后研究了系统光机整体的集成组装技术,并对原理样机进行了实验测试。本文研制的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪的特点在于:取消了动镜驱动机构与采样控制机构,具有微小型与轻量化的特点;干涉图的采样由多级微反射镜完成,其空间采样的方式增加了系统的稳定性与可靠性,实时采样的特点增加了系统的快速性与有效性;多级微反射镜阵列采用MOEMS工艺技术制作,增加了系统的采样精度。该光谱仪系统的结构及制作方法具有自主知识产权,并具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 红外光谱仪 傅里变换红外光谱仪 微型 微光机电系统
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基于DSP的傅里叶变换红外光谱仪动镜控制系统设计 被引量:15
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作者 王伟 陆亦怀 +2 位作者 陆钒 张天舒 付毅宾 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期8-16,共9页
在直线扫描式高精度傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪系统的研制过程中,为了达到光谱图的质量和分辨率要求,提出了一种利用DSP芯片TMS320F28335作为控制器,直线电机运动平台带动动镜的系统设计方法。介绍了FTIR的优点以及TMS320F28335的性能... 在直线扫描式高精度傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪系统的研制过程中,为了达到光谱图的质量和分辨率要求,提出了一种利用DSP芯片TMS320F28335作为控制器,直线电机运动平台带动动镜的系统设计方法。介绍了FTIR的优点以及TMS320F28335的性能特点,分析了FTIR系统的原理,详细阐述了电机控制系统的设计方案,给出了DSP、电机驱动器以及电机模块之间的硬件接口电路和软件实现方法。实验证明,该电机控制系统具有很好的稳定性和很高的运动精度,其位置运动精度能够达到0.1μm,保证动镜做稳定可靠的直线运动。 展开更多
关键词 光电子学 傅里变换红外光谱仪 TMS320F28335 动镜 电机
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傅里叶变换红外光谱仪探测器仪器响应函数研究 被引量:7
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作者 刘志明 高闽光 +4 位作者 刘文清 陆亦怀 张天舒 徐亮 魏秀丽 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1786-1789,共4页
由于傅里叶变换红外光谱仪探测器在各个波段的仪器响应不相同,在应用过程中无论是利用光谱的绝对强度还是相对强度,都需要应用标准黑体对仪器进行定标,找出仪器响应函数。该文对加拿大BO-MAN公司MR154型傅里叶变换红外光谱议配带的两个... 由于傅里叶变换红外光谱仪探测器在各个波段的仪器响应不相同,在应用过程中无论是利用光谱的绝对强度还是相对强度,都需要应用标准黑体对仪器进行定标,找出仪器响应函数。该文对加拿大BO-MAN公司MR154型傅里叶变换红外光谱议配带的两个红外探测器(锑化铟InSb、碲镉汞MCT)的仪器响应函数进行了研究,并找出了它们随黑体温度(辐射亮度)的变化规律。该规律对傅里叶变换红外光谱仪的定标和保证所测辐射谱的正确性有重要意义。 展开更多
关键词 红外探测器 傅里变换红外光谱仪 仪器响应函数 定标
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傅里叶变换红外光谱仪干涉仪系统的设计 被引量:5
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作者 石磊 刘佳 +2 位作者 郑信文 曾立波 吴琼水 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1712-1716,共5页
设计了一种基于立体角镜与固定平面镜组合的干涉仪系统,以解决传统傅里叶变换红外光谱仪中干涉仪系统由于动镜的倾斜与横移影响光谱质量的问题。系统包含一对立体角镜,两面相互垂直的固定平面镜,以及分束器。通过对立体角镜的倾斜与横... 设计了一种基于立体角镜与固定平面镜组合的干涉仪系统,以解决传统傅里叶变换红外光谱仪中干涉仪系统由于动镜的倾斜与横移影响光谱质量的问题。系统包含一对立体角镜,两面相互垂直的固定平面镜,以及分束器。通过对立体角镜的倾斜与横移、立体角镜垂直度误差以及两固定平面镜的倾斜与垂直度误差对干涉信号初相位与调制度的影响进行分析,表明立体角镜的倾斜与横移、固定平面镜的垂直度误差等因素不会影响干涉信号的初相位与调制度;通过对干涉仪进行实际测试表明,仪器具有结构简单紧凑、密封性好、分辨率高以及抗震性强等优点。 展开更多
关键词 干涉仪 傅里变换红外光谱仪 误差分析 调制度 相位误差
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傅里叶变换红外光谱仪在烟幕测试中的应用 被引量:3
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作者 王乃岩 王正萍 +2 位作者 董海波 张国滨 刘咏 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期443-445,共3页
用自制的小型烟幕箱在FTIR光谱仪上测试抗红外烟幕剂燃烧形成的烟幕。通过动态测试烟幕不同时间的红外光谱图,得出烟幕随时间的变化规律及烟幕沉降规律。由测试同一配方不同量烟幕剂燃烧形成烟幕的红外光谱图,得出其主产物浓度与... 用自制的小型烟幕箱在FTIR光谱仪上测试抗红外烟幕剂燃烧形成的烟幕。通过动态测试烟幕不同时间的红外光谱图,得出烟幕随时间的变化规律及烟幕沉降规律。由测试同一配方不同量烟幕剂燃烧形成烟幕的红外光谱图,得出其主产物浓度与吸光度之间的定量关系,结果表明符合Lambert-Beer定律。而对不同药量烟幕剂在3个大气窗口遮蔽能力的计算,得出烟幕遮蔽能力与药量之间的定量关系。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 烟幕 测试 红外烟幕剂 小型烟幕箱
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傅里叶变换红外光谱仪遥感污染云团红外光谱的计算机仿真 被引量:3
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作者 张骏 江飞虹 +1 位作者 宫彦军 戴振宏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期617-619,共3页
利用傅里叶变换红外光谱仪 (FTIS)实测背景数据 ,建立污染云团红外光谱的计算机仿真模型。给出 (CH3) 2 CHO(CH3)FPO与 (CLCH2 CH2 ) 2 S两种污染云团红外光谱的仿真结果。模拟剂实验结果与仿真结果对比表明 :模型仿真污染云团红外光谱... 利用傅里叶变换红外光谱仪 (FTIS)实测背景数据 ,建立污染云团红外光谱的计算机仿真模型。给出 (CH3) 2 CHO(CH3)FPO与 (CLCH2 CH2 ) 2 S两种污染云团红外光谱的仿真结果。模拟剂实验结果与仿真结果对比表明 :模型仿真污染云团红外光谱是可行的。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 污染云团 红外光 计算机仿真 遥感 有毒气体 污染监测
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利用显微傅里叶变换红外光谱仪原位分析铀矿物 被引量:3
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作者 邱林飞 欧光习 +3 位作者 张敏 黎琼 吴迪 尚长健 《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期43-47,共5页
利用显微傅里叶变换红外光谱仪分析技术,对下庄矿田338矿床矿石中的铀矿物进行了原位无损分析,避免了传统方法(KBr压片法)需要剂量大及纯度高的缺陷。实验表明:利用显微傅里叶变换红外光谱仪原位分析铀矿物是可行的,并且具有用量少(薄... 利用显微傅里叶变换红外光谱仪分析技术,对下庄矿田338矿床矿石中的铀矿物进行了原位无损分析,避免了传统方法(KBr压片法)需要剂量大及纯度高的缺陷。实验表明:利用显微傅里叶变换红外光谱仪原位分析铀矿物是可行的,并且具有用量少(薄片面积大于20μm×20μm)及原位无损的特性,而利用显微傅里叶变换红外光谱仪的"MAPING"功能可以快速、大面积的鉴定不同矿物的接触关系,确定矿石的成分场特征。 展开更多
关键词 显微傅里变换红外光谱仪 原位无损分析 铀矿物
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虚拟傅里叶变换红外光谱仪(IR)的设计与实现 被引量:3
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作者 潘瑾 李永强 白雁 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2009年第10期117-119,共3页
根据傅里叶变换红外光谱仪(IR)的基本原理,结合计算机软件,阐述了基于虚拟现实技术的傅里叶变换红外光谱仪(IR)的构建,解决了精密仪器少,学生动手机会少的问题,打破了时间和空间的限制,使学生可以在网上随时进入实验室,极大... 根据傅里叶变换红外光谱仪(IR)的基本原理,结合计算机软件,阐述了基于虚拟现实技术的傅里叶变换红外光谱仪(IR)的构建,解决了精密仪器少,学生动手机会少的问题,打破了时间和空间的限制,使学生可以在网上随时进入实验室,极大提高了仪器分析的教学效果。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪(IR) 虚拟的 构建
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空间调制傅里叶变换红外光谱仪多级微反射镜倾斜误差分析 被引量:2
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作者 郑莹 梁静秋 梁中翥 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1999-2002,共4页
空间调制傅里叶变换红外光谱仪无可动部件,系统稳定而紧凑,而且程差可控,可实现在线监测和实时检测。多级微反射镜是光谱仪干涉系统的关键器件,其在系统中的位置精度对光谱仪性能影响很大。本文对多级微反射镜的倾斜误差引起的光程差变... 空间调制傅里叶变换红外光谱仪无可动部件,系统稳定而紧凑,而且程差可控,可实现在线监测和实时检测。多级微反射镜是光谱仪干涉系统的关键器件,其在系统中的位置精度对光谱仪性能影响很大。本文对多级微反射镜的倾斜误差引起的光程差变化进行了理论计算,并利用光学软件进行了模拟仿真。分析结果表明,随着多级微反射镜倾斜角度的增大,干涉图对比度下降,对应的光谱图脉冲谱线展宽,信噪比下降,严重时会出现波数偏离。以上分析方法对后期系统公差分配及装调有着重要的指导意义。 展开更多
关键词 傅里变换 空间调制 红外光谱仪 多级微反射镜 误差分析
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电热式微机电系统微镜傅里叶变换红外光谱仪 被引量:1
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作者 陆安江 张正平 +2 位作者 白忠臣 陈巧 秦水介 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第5期100-106,共7页
为了研制小体积、低成本、高分辨率的微型傅里叶变换红外光谱仪,通过选择电热式微机电系统(MEMS)微镜作为迈克尔逊干涉仪动镜,在满足了傅里叶光谱仪小型化、便携化的同时,利用折叠双S型Bimorph驱动结构来实现双倍位移量以确保较高分辨率... 为了研制小体积、低成本、高分辨率的微型傅里叶变换红外光谱仪,通过选择电热式微机电系统(MEMS)微镜作为迈克尔逊干涉仪动镜,在满足了傅里叶光谱仪小型化、便携化的同时,利用折叠双S型Bimorph驱动结构来实现双倍位移量以确保较高分辨率,并将分束器外置来进行不同波段的灵活选择,进而实现全光谱范围的应用。以1 310 nm激光作为参考光光源,钨灯宽带光作为待测光源信号,通过信号采集、滤波、插值、光谱恢复步骤完成原始信号采集到光谱信号复原的过程。测试结果表明:电热式微镜的位移量可达到500μm,光谱理论分辨率1 nm,光谱仪整机尺寸小至62 mm×62 mm×28 mm。测试基线噪声为0.000 04,基线重复性为0.000 32,吸光度重复性为0.000 48。性能指标能满足食品安全、药品检测、石油化工等领域的光谱检测应用。 展开更多
关键词 电热驱动 MEMS微镜 傅里变换红外光谱仪 基线噪声 吸光度
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超高分辨红外光谱仪器最高分辨率的测定实验 被引量:2
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作者 贾红辉 王晓峰 +3 位作者 张学骜 张海良 胡玲 常胜利 《物理实验》 北大核心 2010年第4期33-34,共2页
在超高分辨红外光谱仪器最高分辨率的测定实验中,采用20cm光程的CO2气体池,控制气体压力为180Pa,基于MIR光源,采用LN-MCT探测器,切趾函数选矩形函数,通过720~720.8cm-1波数的实验测定,得到红外光谱仪器BrukerIFS125HR的最高分辨率为0.0... 在超高分辨红外光谱仪器最高分辨率的测定实验中,采用20cm光程的CO2气体池,控制气体压力为180Pa,基于MIR光源,采用LN-MCT探测器,切趾函数选矩形函数,通过720~720.8cm-1波数的实验测定,得到红外光谱仪器BrukerIFS125HR的最高分辨率为0.001cm-1. 展开更多
关键词 傅里光学 超高分辨傅里叶变换红外光谱仪 最大光谱分辨
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面向生物过程的在线式傅里叶变换红外光谱仪 被引量:1
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作者 谢非 吴琼水 曾立波 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2357-2361,共5页
针对生物过程反应底物含量的实时测量,设计了一种在线式傅里叶变换红外光谱仪及衰减全反射(attenuated total reflectance,ATR)探头。(1)光谱仪采用双立体角镜和平面镜相组合的方法,设计了一种高性能干涉仪系统;采用了光路折叠方式,使... 针对生物过程反应底物含量的实时测量,设计了一种在线式傅里叶变换红外光谱仪及衰减全反射(attenuated total reflectance,ATR)探头。(1)光谱仪采用双立体角镜和平面镜相组合的方法,设计了一种高性能干涉仪系统;采用了光路折叠方式,使干涉仪结构紧凑;采用了双立体角镜,大大减少了动镜运动过程中存在的旋转、倾斜等因素影响;采用平行四边形摆动柔性支撑装置来支撑动镜,使动镜移动时无摩擦,无抖动,运行平稳;采用ZnSe分束器,使仪器抗潮湿性能大大增强;采用分束器60°光入射方式,提高了光通量。(2)该工作设计的一种结构简单、光通量大、经济实用的ATR原位测量探头,入射光和出射光的传输均利用了大口径内镀中红外高反膜光导管作为ATR探头的红外光传输介质,从而大大降低红外光在光导管内壁多次反射后的能量损失,使得ATR探头具有高光通量,提高了信号强度,使信号的检出更加容易。最后采用灵敏度高的MCT(碲镉汞)检测器实现红外干涉信号的收集,使得检测效果更好。实验结果表明,系统具有防潮性能出色,光通量大,在线测量等优点。所设计在线式傅里叶红外光谱仪,能够较好的完成生物反应器内甘油等常见反应物底物的实时测量,在生物在线分析、化学物质检测、材料分析学等诸多领域具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 生物过程 傅里变换红外光谱仪 ATR探头 在线监测
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空间傅里叶变换红外光谱仪动镜速度稳定性研究 被引量:1
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作者 张明月 章家保 杨洪波 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期1240-1246,共7页
为了改善傅里叶变换红外光谱仪中动镜运动控制系统的动态性能和静态性能,设计了基于扰动观测器的非线性PID控制器。首先对该动镜驱动系统进行数学建模,分析系统中的非线性因素。之后给出了设计该控制器的理论依据。最后进行了数值仿真... 为了改善傅里叶变换红外光谱仪中动镜运动控制系统的动态性能和静态性能,设计了基于扰动观测器的非线性PID控制器。首先对该动镜驱动系统进行数学建模,分析系统中的非线性因素。之后给出了设计该控制器的理论依据。最后进行了数值仿真分析和实验验证。实验结果表明:动镜以133mm/s运动时,采用基于扰动观测器的非线性PID控制器控制时,系统响应超调量为0,上升时间为3ms,稳态均方差为0.0392,性能明显优于传统PID控制器。结果证明了该控制器的可行性和实用性,满足了干涉仪的动镜匀速性要求。 展开更多
关键词 扰动观测器 傅里变换红外光谱仪 控制器
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傅里叶变换红外光谱仪中立方反射镜特性分析 被引量:6
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作者 魏儒义 雷俊锋 +2 位作者 杨琨 尹邦胜 曾立波 《光学仪器》 2007年第3期69-75,共7页
在傅里叶变换红外光谱仪中,用立方反射镜作为动镜的光路系统比平面镜时的情形复杂。通过建立系统的数学模型分析光路,确定了干涉信号的数学表达式;从干涉图调制度的角度对系统在非理想状态下的运动误差容限以及安装误差容限进行了分析... 在傅里叶变换红外光谱仪中,用立方反射镜作为动镜的光路系统比平面镜时的情形复杂。通过建立系统的数学模型分析光路,确定了干涉信号的数学表达式;从干涉图调制度的角度对系统在非理想状态下的运动误差容限以及安装误差容限进行了分析。结果表明,与动镜和定镜都采用角反射体的系统相比较,该系统动镜运动中其偏摆和顶点横移不会对干涉图产生影响;与动镜为平面镜的系统相比较,该系统不需要对动镜的动态校正就能满足调制度判据要求。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 误差容限 调制度 立方反射镜 通光孔径
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同轴倾斜转镜式傅里叶变换红外光谱仪的系统误差容限研究
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作者 李奇峰 王慧捷 +2 位作者 陈达 陈文亮 徐可欣 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期21-25,共5页
针对具有同轴倾斜转镜式结构的新型傅里叶变换红外光谱仪进行了研究,该结构主要通过绕轴转动的倾斜反射镜组合和固定反射镜转折光路,产生连续变化的光程差,形成连续变化的干涉光强度.为了尽可能获取可靠的干涉光强度数据,获得准确的光... 针对具有同轴倾斜转镜式结构的新型傅里叶变换红外光谱仪进行了研究,该结构主要通过绕轴转动的倾斜反射镜组合和固定反射镜转折光路,产生连续变化的光程差,形成连续变化的干涉光强度.为了尽可能获取可靠的干涉光强度数据,获得准确的光谱信息,需要对系统的潜在误差进行研究,分析误差的来源和影响,确定系统的误差容限.通过模拟分析的手段,对倾斜反射镜组合和固定反射镜的误差进行了研究,确定了主要的误差来源、误差影响和误差允许范围,对系统误差容限形成了全面的认识.在此基础上,可以为同轴倾斜转镜式傅里叶变换红外光谱仪的制造和装配提供具体的数据参考. 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 转镜式 误差容限
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傅里叶变换红外光谱仪动镜故障的排除
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作者 刘书钢 沈万力 +2 位作者 汪国强 张贵德 王双印 《分析仪器》 CAS 1995年第4期50-51,共2页
如果动镜不动,傅里时变换红外光谱仪就不能实现波长扫描。本文以美国MATTSON仪器公司Alipha Centauri傅里叶交换红外光谱仪为例,分析了导致动镜不动的各种原因,并提出了排除故障的方法。
关键词 傅里变换 红外光谱仪 动镜 故障排除
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共享仪器傅里叶变换红外光谱仪的管理使用经验浅谈 被引量:1
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作者 林翔 余徽 《高校实验室工作研究》 2018年第2期122-124,共3页
红外光谱分析技术是有机化合物结构表征的技术之一,是高校教学科研实验室常用的分析手段。傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)属于精密分析仪器,需精心管理、保养和维护,以保证仪器性能稳定、测试数据可靠。本文以FTIR的日常检查维护、样品制... 红外光谱分析技术是有机化合物结构表征的技术之一,是高校教学科研实验室常用的分析手段。傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)属于精密分析仪器,需精心管理、保养和维护,以保证仪器性能稳定、测试数据可靠。本文以FTIR的日常检查维护、样品制备技术及相关文档资料管理为主要内容,介绍了该仪器在开放共享实验室的日常管理维护经验。所述内容对共享仪器FTIR的管理、维护及使用提供可借鉴的参考。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 共享仪器 管理 维护 使用
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被动傅里叶变换红外光谱仪遥感污染云团
18
作者 张骏 荀毓龙 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第4期429-432,共4页
在定量遥感污染云团光谱的模型下,对被动傅里叶交换红外光谱仪(FTIS)遥测目标气体和背景光谱做定量分析,讨论了试验场地大气条件、目标气体柱数密度和目标气体等效辐射温度对定量分析结果的影响。
关键词 污染云团 傅里变换 红外光谱仪 定量遥感
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傅里叶变换红外光谱仪噪音源的检查方法
19
作者 曾繁清 牛菲 +1 位作者 林金华 冯子刚 《分析测试通报》 CSCD 1989年第6期74-75,共2页
傅里叶变换红外(FT-IR)光谱仪一旦出现噪音将掩盖待测样品的许多吸收峰。本文介绍运用仪器的自查程序和工作参数,快速简便地判断噪音出现范围的方法。FT-IR光谱仪可认为由光路部分、模拟电路及模数转换电路、计算机及其外设件三部分组... 傅里叶变换红外(FT-IR)光谱仪一旦出现噪音将掩盖待测样品的许多吸收峰。本文介绍运用仪器的自查程序和工作参数,快速简便地判断噪音出现范围的方法。FT-IR光谱仪可认为由光路部分、模拟电路及模数转换电路、计算机及其外设件三部分组成。这三部分都可能产生噪音。 展开更多
关键词 红外光谱仪 噪声 傅里变换 检查
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光线通过傅里叶变换红外光谱仪的光程差分析
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作者 廖腊梅 贺健 张庆国 《红外》 CAS 2011年第12期14-16,38,共4页
为了研究光线通过傅里叶变换红外光谱仪的光程差,采用对称分析和几何光学方法分析了光线通过一个至三个平板时的光程表达式,并得出了一个光线通过任意多个平板时的光程的一般表达式。在此基础上,分析了核心部件——迈克耳逊干涉仪的两... 为了研究光线通过傅里叶变换红外光谱仪的光程差,采用对称分析和几何光学方法分析了光线通过一个至三个平板时的光程表达式,并得出了一个光线通过任意多个平板时的光程的一般表达式。在此基础上,分析了核心部件——迈克耳逊干涉仪的两个臂产生的随入射角变化的光程差的精确表达式。最后给出了其广角条件。该研究对于广角傅里叶变换红外光谱仪的设计具有重要的参考意义。 展开更多
关键词 傅里变换红外光谱仪 光程差 迈克耳逊干涉仪 广角
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