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超高压玻封二极管玻璃体开裂的原因及工艺优化研究
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作者 刘文辉 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第3期498-502,共5页
围绕超高压二极管在环境应力作用下玻璃体开裂问题,结合玻璃粉的材料特性,对特定型号玻璃粉采用不同烧结曲线进行试验,发现增加恒温区烧结时间、减小降温速率,可提高玻璃体韧性;对特定型号的玻璃粉进行二次研磨后再烧结,玻璃体中的沙眼... 围绕超高压二极管在环境应力作用下玻璃体开裂问题,结合玻璃粉的材料特性,对特定型号玻璃粉采用不同烧结曲线进行试验,发现增加恒温区烧结时间、减小降温速率,可提高玻璃体韧性;对特定型号的玻璃粉进行二次研磨后再烧结,玻璃体中的沙眼和气泡大幅减小。采用上述工艺制作的超高压二极管样品通过了高温储存、高低温冲击等环境应力试验。 展开更多
关键词 超高压二极管 玻璃烧结 玻璃开裂 玻璃钝化
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