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超高真空磁控溅射生长铌薄膜
1
作者
杨丽娜
丁增千
+4 位作者
李睿颖
周博艺
熊康林
冯加贵
张永红
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第7期607-612,共6页
金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用。铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备。为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要。结合真空分析表征、低温输运测量...
金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用。铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备。为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要。结合真空分析表征、低温输运测量等技术系统性地研究了溅射参数对铌膜表面粗糙度和晶粒大小的调控,并分析了生长条件对铌膜超导转变温度和剩余电阻比的影响。利用硅上铌膜制备的共面波导谐振器,在10 mK温度,单光子激励下,本征品质因子超过一百万,表明超高真空磁控溅射生长的铌膜微波损耗极低。
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关键词
超高真空磁控溅射
铌膜
表面粗糙度
剩余电阻比
微波谐振器
下载PDF
职称材料
耐高温全金属化封装的光纤法布里-珀罗干涉仪和光纤光栅复合传感器
被引量:
3
2
作者
李杰燕
张东生
+1 位作者
周祖德
郭永兴
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第F06期37-41,共5页
利用非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI)和光纤布拉格光栅(FBG)制作了一种温度和应力同时测量的复合光纤传感器。采用超高真空磁控溅射镀膜、电镀及激光焊接技术实现了光纤传感器的耐高温全金属无胶化封装。实验结果表明:在290...
利用非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI)和光纤布拉格光栅(FBG)制作了一种温度和应力同时测量的复合光纤传感器。采用超高真空磁控溅射镀膜、电镀及激光焊接技术实现了光纤传感器的耐高温全金属无胶化封装。实验结果表明:在290℃温度条件下传感器的应力灵敏度为90pm/N,具备良好的线性测量能力(约0.9965);传感器的温度灵敏度为12pm/℃,线性度可达到0.9988,其温度补偿效果较好。实验结果同时证明了采用超高真空磁控溅射镀膜及激光焊接技术实现光纤传感器耐高温全金属化封装方法的可行性与有效性。
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关键词
光纤光学
EFPI—FBG传感器
超高真空磁控溅射
镀膜
电镀
激光焊接
原文传递
题名
超高真空磁控溅射生长铌薄膜
1
作者
杨丽娜
丁增千
李睿颖
周博艺
熊康林
冯加贵
张永红
机构
材料科学姑苏实验室
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第7期607-612,共6页
基金
江苏省自然科学基金(BK20180255)
中国科学院青年创新促进会项目(2019319)
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所自有课题(Y9AAD110)。
文摘
金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用。铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备。为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要。结合真空分析表征、低温输运测量等技术系统性地研究了溅射参数对铌膜表面粗糙度和晶粒大小的调控,并分析了生长条件对铌膜超导转变温度和剩余电阻比的影响。利用硅上铌膜制备的共面波导谐振器,在10 mK温度,单光子激励下,本征品质因子超过一百万,表明超高真空磁控溅射生长的铌膜微波损耗极低。
关键词
超高真空磁控溅射
铌膜
表面粗糙度
剩余电阻比
微波谐振器
Keywords
Ultra-high vacuum magnetron sputtering
Niobium film
Surface roughness
Residual resistance ratio
Microwave resonator
分类号
O511.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
耐高温全金属化封装的光纤法布里-珀罗干涉仪和光纤光栅复合传感器
被引量:
3
2
作者
李杰燕
张东生
周祖德
郭永兴
机构
武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第F06期37-41,共5页
基金
国家863计划(2012AA041203)资助课题.
文摘
利用非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪(EFPI)和光纤布拉格光栅(FBG)制作了一种温度和应力同时测量的复合光纤传感器。采用超高真空磁控溅射镀膜、电镀及激光焊接技术实现了光纤传感器的耐高温全金属无胶化封装。实验结果表明:在290℃温度条件下传感器的应力灵敏度为90pm/N,具备良好的线性测量能力(约0.9965);传感器的温度灵敏度为12pm/℃,线性度可达到0.9988,其温度补偿效果较好。实验结果同时证明了采用超高真空磁控溅射镀膜及激光焊接技术实现光纤传感器耐高温全金属化封装方法的可行性与有效性。
关键词
光纤光学
EFPI—FBG传感器
超高真空磁控溅射
镀膜
电镀
激光焊接
Keywords
fiber optics
EFPI-FBG sensor
ultra-high-vacuum magnetron sputter system
electroplating technology
laser welding technology
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高真空磁控溅射生长铌薄膜
杨丽娜
丁增千
李睿颖
周博艺
熊康林
冯加贵
张永红
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
0
下载PDF
职称材料
2
耐高温全金属化封装的光纤法布里-珀罗干涉仪和光纤光栅复合传感器
李杰燕
张东生
周祖德
郭永兴
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
原文传递
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