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题名二氧化钛表面接触电位差测试设计与分析
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作者
穆磊磊
王康谊
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机构
中北大学信息与通信工程学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第1期34-37,42,共5页
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文摘
作为光催化剂模型材料的金红石型二氧化钛(110)结构,同时针对金红石型二氧化钛(110)提出了接触电位差(CPD)的2种测试方法,包括二次扫描法与原子追踪2D测试法。基于超高真空超低温调频原子力显微镜与开尔文探针力显微镜(UHV-ULT-NC-AFM/KPFM)测试技术,通过对探针的修饰,完成了金红石型二氧化钛(110)表面CPD的表征。实验发现由于Smoluchowski效应,二氧化钛(110)表面台阶上CPD可减少0.2 V,同时研究了CPD减少与光催化活性的关系。为后期相关研究实验奠定了基础。
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关键词
光催化剂
接触电位差
超高真空
调频原子力显微镜
开尔文探针力显微镜
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Keywords
photocatalyst
contact potential difference(CPD)
ultra-high vacuum
frequency modulated atomic force microscope
Kelvin probe force microscope(KPFM)
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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题名氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
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作者
尚璐瑶
杨晓峰
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机构
中北大学理学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第9期4-7,15,共5页
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文摘
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄膜构造与缺陷建模,结合实验分析,验证了薄膜结构和缺陷理论。缺陷结构高度为(50±20)pm,氧化铝薄膜台阶的高度约200 pm,薄膜周期结构与DFT计算理论模型中单元的大小基本一致,实验结果与理论值基本吻合,为后期蒸镀钯(Pd)实验奠定了基础。
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关键词
氧化铝薄膜
超高真空非接触式调频原子力显微镜
缺陷理论
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Keywords
alumina film
ultra-high vacuum non-contact frequency modulated atomic force microscope(UHV-NC-FM-AFM)
Defect Theory
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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