用于绝对距离干涉计量的3.39μm双波长红外拍波干涉仪的研究

本文在简要介绍绝对距离干涉计量逐级精化原理的基础上,详细阐述了3.39μm 波段双线He-Ne 激光两级合成波长组成方案,分析了3.39μm 双波长红外拍波干涉仪的工作原理,给出了系统布局和有关的实验结果。精度分析表明,3.39μm 双波长拍波干涉仪的拍波干涉条纹尾数测量精度优于1.6×10^(-3)。