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悬空车轮形氮化镓发光二极管
1
作者
朱刚毅
仇国庆
+5 位作者
秦飞飞
刘威
袁佳磊
施政
王永进
徐春祥
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第9期1146-1152,共7页
减少器件的界面损耗从而提升其发光性能一直是发光二极管领域一个重要的研究热点。本文采用标准半导体工艺在硅衬底上制备了GaN基车轮形发光器件。采用各向同性湿法蚀刻工艺将器件悬空,比较并研究了悬空对器件的性能,包括光强、半高宽...
减少器件的界面损耗从而提升其发光性能一直是发光二极管领域一个重要的研究热点。本文采用标准半导体工艺在硅衬底上制备了GaN基车轮形发光器件。采用各向同性湿法蚀刻工艺将器件悬空,比较并研究了悬空对器件的性能,包括光强、半高宽、波长漂移、3 dB带宽等的影响。由于减小了光损耗,在悬空结构中腔效应更加明显,器件的电致发光和通信性能得到了提升。本研究对电驱动光源的制备和可见光通信具有重要意义。
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关键词
发光二极管
氮化镓
车轮形微腔
3
dB带宽
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职称材料
题名
悬空车轮形氮化镓发光二极管
1
作者
朱刚毅
仇国庆
秦飞飞
刘威
袁佳磊
施政
王永进
徐春祥
机构
南京邮电大学通信与信息工程学院
东南大学生物电子学国家重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第9期1146-1152,共7页
基金
江苏省优秀青年基金(BK20180087)
中国博士后科学基金(2018M6305)
南京邮电大学研究启动基金(NY219147)资助项目。
文摘
减少器件的界面损耗从而提升其发光性能一直是发光二极管领域一个重要的研究热点。本文采用标准半导体工艺在硅衬底上制备了GaN基车轮形发光器件。采用各向同性湿法蚀刻工艺将器件悬空,比较并研究了悬空对器件的性能,包括光强、半高宽、波长漂移、3 dB带宽等的影响。由于减小了光损耗,在悬空结构中腔效应更加明显,器件的电致发光和通信性能得到了提升。本研究对电驱动光源的制备和可见光通信具有重要意义。
关键词
发光二极管
氮化镓
车轮形微腔
3
dB带宽
Keywords
light emitting diodes
GaN
micro wheel structures
3 dB bandwidth
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
悬空车轮形氮化镓发光二极管
朱刚毅
仇国庆
秦飞飞
刘威
袁佳磊
施政
王永进
徐春祥
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
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