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LSIC版图场分割数据处理的研究
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作者 胡咏梅 贾磊 《山东大学学报(工学版)》 CAS 2003年第1期1-4,共4页
本文介绍了LSIC中版图场分割数据处理的方法 ,着重介绍了凹多边形版图场分割数据处理算法 。
关键词 数据处理 电子束 软件/版图场分割
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