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用PSD精确测量软质低反光材料 被引量:1
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作者 迟桂纯 张涛 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第1期73-74,共2页
介绍一种适用于软质低反光材料检测的半导体激光位置探测器PSD,用半导体激光器和位置探测器件及相关光学数控系统来测量软质低反光材料,进行无接触式高精度测量,被测件表面不损伤,无擦痕,不变形,测量精度高、分辨率高。
关键词 PSD 无接触测量 滤纸 软质低反光材料 测量精度
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