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光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗 被引量：4
1
作者 史兴宽 徐传义 +2 位作者 任敬心 王健 巴瑞璋 《航空精密制造技术》 2000年第3期12-15,共4页
介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置，并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗．获得了高洁净表面的光学基片．
关键词 光学基片 软质胶体粒子 激光清洗 抛光表面
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