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软X射线激光用分束镜研究
1
作者
王占山
唐伟星
+7 位作者
吴永刚
秦树基
陈玲燕
徐向东
洪毅麟
付绍军
朱杰
崔启明
《北京同步辐射装置年报》
2002年第1期190-193,共4页
软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的,是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计...
软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的,是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。
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关键词
软x射线干涉测量
分束镜
激光
多层膜
等离子体
入射角
反射率
透过率
离子束溅射法
下载PDF
职称材料
题名
软X射线激光用分束镜研究
1
作者
王占山
唐伟星
吴永刚
秦树基
陈玲燕
徐向东
洪毅麟
付绍军
朱杰
崔启明
机构
同济大学精密光学工程技术研究所物理系
中国科技大学同步辐射国家重点实验室
中科院高能物理研究所同步辐射室
出处
《北京同步辐射装置年报》
2002年第1期190-193,共4页
文摘
软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的,是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。
关键词
软x射线干涉测量
分束镜
激光
多层膜
等离子体
入射角
反射率
透过率
离子束溅射法
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软X射线激光用分束镜研究
王占山
唐伟星
吴永刚
秦树基
陈玲燕
徐向东
洪毅麟
付绍军
朱杰
崔启明
《北京同步辐射装置年报》
2002
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