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软x射线平场光谱仪系统的优化设计 被引量：2
1
作者 刘运全 张杰 +1 位作者 陈正林 彭晓昱 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1433-1439,共7页
采用光线追踪和光路函数的方法 ,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪 ,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领 .波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明 ,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为 4— 4 5nm... 采用光线追踪和光路函数的方法 ,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪 ,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领 .波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明 ,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为 4— 4 5nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力 (λ Δλ >10 0 0 )和空间分辨能力 (优于 4 0 μm) . 展开更多
关键词 软x射线平场谱仪 光路函数 光线追踪 谱分辨 空间分辨 波前像差理论
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