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软X射线投影光刻技术
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作者 王占山 曹健林 《科技导报》 CAS CSCD 1997年第9期9-11,共3页
关键词 大规模集成电路芯片 x射线投影光刻技术 缩小倍率 分辨率
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用软X射线鉴定文物 被引量:1
2
作者 郑中兴 《无损探伤》 2004年第3期42-43,共2页
介绍了利用软 X射线探伤的电压、电流、焦点选择和成像时的几个特点 ,特别是对古画、丝绸、书简等纤维组织有很高的对比度和分辨率 ,并列举几个鉴定文物的例子 ,说明了其巨大的潜力。
关键词 无损检测 镀窗口 高速摄影 双片技术 软x射线技术 x射线探伤 文物鉴定
原文传递
自溯源光栅标准物质及其应用 被引量:5
3
作者 邓晓 李同保 程鑫彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期2608-2625,共18页
纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术,是先进纳米制造技术的基础。其中,溯源性是纳米计量的基础问题,而研制纳米计量标准物质是实现纳米测量溯源性传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节。为适应纳米计量扁平化量... 纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术,是先进纳米制造技术的基础。其中,溯源性是纳米计量的基础问题,而研制纳米计量标准物质是实现纳米测量溯源性传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节。为适应纳米计量扁平化量值传递溯源的要求,基于铬跃迁频率,采用原子光刻技术和软X射线干涉技术制备了1D 212.8 nm,2D 212.8 nm,1D 106.4 nm 3种自溯源光栅标准物质;在多层膜沉积技术研制硅纳米线宽结构的基础上,探索了基于硅晶格常数的硅纳米线宽自溯源型测量方法。在应用领域,开展了自溯源光栅对扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等高精密测量仪器的校准研究。研究结果表明,自溯源型标准物质及其测量方法缩短了精密仪器和加工技术过程中的纳米长度计量溯源链,是先进纳米制造和新一代信息技术的有力支撑。 展开更多
关键词 纳米科技 纳米计量 自溯源标准物质 原子光刻技术 x射线干涉光刻技术 多层膜沉积技术
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