基于等厚干涉的轴向空间相干度分析及其在表面形状测量中的可行性探讨(英文)

从等厚干涉的解释出发,推导出了二维空间的相干方程.基于空间相干方程,利用SLM产生了一个新的空间非相干光源.同时提出了新的相移方案,并结合这个新的相移方案,实现了轴向空间距离的探测和干涉条纹的相移.分析了空间方向角对相干方程的影响,并给出了实验验证.通过对非相干光源的参数和特定的空间距离以及空间方向角的匹配,重建了一个具有标准段差的实际物体的表面形状.为光学表面形状测量提供了新的思路.