电位比及几何尺寸对各类轴对称静电透镜性能影响的分析

采用五点差分法计算轴对称静电透镜子午面上电位分布 ,再从普遍轨迹方程求得的电子轨迹出发得到透镜焦点和球差。根据不同种类静电透镜的结构特点 ,通过改变它们电极上的电位比和电极本身及电极之间的几何尺寸算出它们的焦距和球差变化 ,最后得到由这些变化产生的对透镜性能的影响。本文具体分析了膜孔透镜 ,浸没双圆筒透镜 (包括等径和不等径 ) ,单透镜和浸没物镜这四类最主要的静电透镜。