轻拍式探针和光杠杆

本文首先由理论分析导出薄片压电陶瓷激振的悬臂式轻拍探针振幅─—频率表示式．该公式为振幅、相位或频率测量的轻拍式探针用于待测表面瞄准（或定位）技术提供理论依据．同时，在上述理论分析基础上作了大量实验，从获得的数据中，一方面验证理论分析的适用范围，另外也提出了最佳定位点的存在以及它的判别方法．

激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计

设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ;理论分析了检测探针振动的方法 ;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法 ;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统 ,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响 ;对系统误差进行了分析。