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应变p型Si_(1-x)Ge_x层中载流子冻析
被引量:
4
1
作者
张万荣
李志国
+4 位作者
罗晋生
孙英华
程尧海
陈建新
沈光地
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第11期51-54,共4页
本文用解析的方法研究了应变P型Si_(1-x)Gex层中载流子冻析现象.研究发现,用Si归一化的Si(1-x)Gex价带有效态密度,随x的增加而减小,而且温度T越低,随Ge组份x的增加而减少的速度越快与Si相比,常温下Ge组份x几乎对电离杂质浓度没有...
本文用解析的方法研究了应变P型Si_(1-x)Gex层中载流子冻析现象.研究发现,用Si归一化的Si(1-x)Gex价带有效态密度,随x的增加而减小,而且温度T越低,随Ge组份x的增加而减少的速度越快与Si相比,常温下Ge组份x几乎对电离杂质浓度没有什么影响,而在低温下,随Ge组份x的增加,电离杂质浓度随之增加,载流子冻析减弱,这对低温工作的Si(1-x)Gex器件有利.
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关键词
载流子冻析
电离杂质浓度
异质结器件
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职称材料
题名
应变p型Si_(1-x)Ge_x层中载流子冻析
被引量:
4
1
作者
张万荣
李志国
罗晋生
孙英华
程尧海
陈建新
沈光地
机构
北京工业大学电子工程系
西安交通大学微电子研究所
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第11期51-54,共4页
基金
北京市科技新星计划基金
电子元器件可靠性国家重点实验室基金
文摘
本文用解析的方法研究了应变P型Si_(1-x)Gex层中载流子冻析现象.研究发现,用Si归一化的Si(1-x)Gex价带有效态密度,随x的增加而减小,而且温度T越低,随Ge组份x的增加而减少的速度越快与Si相比,常温下Ge组份x几乎对电离杂质浓度没有什么影响,而在低温下,随Ge组份x的增加,电离杂质浓度随之增加,载流子冻析减弱,这对低温工作的Si(1-x)Gex器件有利.
关键词
载流子冻析
电离杂质浓度
异质结器件
Keywords
Strained Si_(1-x)Ge_x layers,Catrier freeze-out, Ionized doping concentration
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应变p型Si_(1-x)Ge_x层中载流子冻析
张万荣
李志国
罗晋生
孙英华
程尧海
陈建新
沈光地
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
4
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