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题名框架载片台打凹深度对塑封针孔的影响
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作者
石海忠
陈巧凤
朱锦辉
贾红梅
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机构
南通富士通微电子股份有限公司
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出处
《电子与封装》
2011年第11期1-3,17,共4页
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文摘
圆片制造技术的不断提升有效缓解了单位芯片的成本压力,同样功能的芯片尺寸越来越小,封装工艺也迫切面临提升的要求,尤其是小芯片极易在塑封工序产生背面针孔等方面的问题,这对塑封工艺提出了新的挑战。文中针对小芯片在塑封工艺中产生针孔的原理进行了深入分析,重点通过一系列试验改善针孔发生的比例,其中框架载片台打凹深度对针孔发生有重要影响,最终通过调整和优化载片台打凹深度值,有效解决了小芯片封装过程中容易产生塑封体背面针孔的问题,从而稳定了塑封的生产效率、产品合格率等。
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关键词
载片台
打凹深度
小芯片
模腔
针孔
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Keywords
die pad
down set
small dies
cavity
pinhole
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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题名几种生物芯片点样仪机械结构的对比
被引量:2
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作者
张春野
王理明
高钧
林云生
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第8期36-38,共3页
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文摘
生物芯片点样仪生产厂家针对不同客户的需求,可以提供不同特性的产品。就市场上最常见的生物芯片点样仪生产厂家Genemachine,Biorobotics和Cartesian生产的四种生物芯片点样仪的机械结构做了介绍、分析和对比。在此基础上,研发出DY-2001型生物芯片点样仪。该机在整体性、占地面积、空间利用率、刚性、精度以及便于维修等方面做了全面考虑,不足之处是总重量稍大。
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关键词
生物芯片
点样仪机械
载片台
点样头
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Keywords
microarrayer
slide holders
print head
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分类号
TP371
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名高频器件的测试与封装初探(一)
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作者
张伟水
王瑞
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机构
美国奥泰公司
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出处
《中国集成电路》
2002年第8期86-88,共3页
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文摘
信息时代的到来对高频器件的测试与封装提出了更高的要求。一方面新的高频器件和电路不断推出;另一方面测试的频率不断提升,封装的体积和密度日趋变小。在此。
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关键词
高频器件
封装
测试要求
贴片机
微波探针
探针台
载片台
测试环境
和电路
光电器件
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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