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计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究
被引量:
4
1
作者
李明
闫力松
+3 位作者
薛栋林
赵晶丽
郑立功
张学军
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期260-267,共8页
大口径凸非球面镜在现代光学系统的应用日渐广泛,尤其在离轴三反光学系统中,它往往作为次镜使用。出于力学特性和热学特性考虑,一般采用不透明的Si C材料来制作此类非球面镜面,而且对于离轴系统,次镜的全口径均参与成像。口径大、加工...
大口径凸非球面镜在现代光学系统的应用日渐广泛,尤其在离轴三反光学系统中,它往往作为次镜使用。出于力学特性和热学特性考虑,一般采用不透明的Si C材料来制作此类非球面镜面,而且对于离轴系统,次镜的全口径均参与成像。口径大、加工材料不透明且无中心遮拦,使得传统的检测方法已经无法实现对此类非球面的检测。为解决此问题,提出一种计算机再现全息(CGH)与辅助球面镜混合补偿的凸非球面检测方法,构建了基于CGH辅助功能区域的检测对准方案,并以此方法对一口径为φ120 mm的Si C凸非球面反射镜进行了混合补偿检测,其检测结果与子孔径拼接检测结果在均方根(RMS)值为1/50λ精度下一致,验证了该方法的可行性与正确性。
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关键词
光学制造
混合补偿检测
凸非
球面
计算机再现全息
辅助球面镜
零位补偿检测
原文传递
题名
计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究
被引量:
4
1
作者
李明
闫力松
薛栋林
赵晶丽
郑立功
张学军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期260-267,共8页
基金
国家973计划(2011CB013205)
国家自然科学基金重点项目(61036015)
文摘
大口径凸非球面镜在现代光学系统的应用日渐广泛,尤其在离轴三反光学系统中,它往往作为次镜使用。出于力学特性和热学特性考虑,一般采用不透明的Si C材料来制作此类非球面镜面,而且对于离轴系统,次镜的全口径均参与成像。口径大、加工材料不透明且无中心遮拦,使得传统的检测方法已经无法实现对此类非球面的检测。为解决此问题,提出一种计算机再现全息(CGH)与辅助球面镜混合补偿的凸非球面检测方法,构建了基于CGH辅助功能区域的检测对准方案,并以此方法对一口径为φ120 mm的Si C凸非球面反射镜进行了混合补偿检测,其检测结果与子孔径拼接检测结果在均方根(RMS)值为1/50λ精度下一致,验证了该方法的可行性与正确性。
关键词
光学制造
混合补偿检测
凸非
球面
计算机再现全息
辅助球面镜
零位补偿检测
Keywords
optical fabrication
hybrid compensation testing
convex aspheres
computer-generated hologram
fold sphere
null test
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究
李明
闫力松
薛栋林
赵晶丽
郑立功
张学军
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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