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辉光功率对VHF-PECVD制备的硅基薄膜特性的影响(英文) 被引量:4
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作者 张晓丹 赵颖 +6 位作者 朱锋 魏长春 孙建 侯国付 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期662-666,共5页
本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同辉光功率条件下系列硅薄膜样品。喇曼测试结果显示 :在不同硅烷浓度 (SC)条件下 ,非晶到微晶的过渡区发生在不同的功率点 ;暗电导随晶化率也体现出不同的变化 ,此结果表明不同SC、不同功率制备... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同辉光功率条件下系列硅薄膜样品。喇曼测试结果显示 :在不同硅烷浓度 (SC)条件下 ,非晶到微晶的过渡区发生在不同的功率点 ;暗电导随晶化率也体现出不同的变化 ,此结果表明不同SC、不同功率制备样品的结构特性和电学特性的内在规律是不同的 ;另外 ,扫描电子显微镜的测试结果表明样品的表面呈“菜花”状和剖面为柱状的结构特征。 展开更多
关键词 辉光功率 VHF-PECVD方法 制备 硅基薄膜 甚高频等离子体增强化学气相沉积 过渡区 微区喇曼 扫描电子显微镜
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辉光功率对柔性衬底ZnO:Al薄膜性能的影响
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作者 杨恢东 王河深 +2 位作者 李姗 李心茹 吴浪 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期12-14,6,共3页
目前,磁控溅射制备ZnO:Al薄膜时的溅射压强较低,若氩气流量不稳或腔室排气口处气流扰动会对溅射压强产生较大影响,影响成膜质量。为提高溅射薄膜质量,采用直流磁控溅射技术,在较高溅射压强下,以不同辉光功率在柔性衬底聚酰亚胺... 目前,磁控溅射制备ZnO:Al薄膜时的溅射压强较低,若氩气流量不稳或腔室排气口处气流扰动会对溅射压强产生较大影响,影响成膜质量。为提高溅射薄膜质量,采用直流磁控溅射技术,在较高溅射压强下,以不同辉光功率在柔性衬底聚酰亚胺上制备了ZnO:Al薄膜。采用紫外可见分光光度计、四探针测试仪、X射线衍射仪及扫描电镜测试薄膜性能,考察了辉光功率对薄膜光学特性、电学特性、薄膜结构和表面形貌的影响。结果表明:制备的薄膜均为六方纤锌矿结构,且有明显的C轴择优取向;随着辉光功率的增大,方块电阻先减小后增大,辉光功率为50w时最小,为15.6Ω,晶粒尺寸先增大后减小;在辉光功率为50w时,600~800nm波长范围内薄膜的相对透射率达到最大值96%。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 ZNO:AL薄膜 柔性衬底 辉光功率 方块电阻 相对透射率
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辉光功率对硅薄膜太阳能电池串联电阻的影响
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作者 石明吉 于家辉 +1 位作者 陈兰莉 丁淑娟 《南阳理工学院学报》 2010年第2期1-4,共4页
采用RF-PECVD在不锈钢衬底上制备了一系列NIP结构的硅薄膜太阳能电池,得到本征层的辉光功率分别是4W,7.2W,9W,20W,40W。用磁控溅射在P层表面蒸镀ITO透明电极,用太阳能模拟器做光源,测试了电池的串联电阻等性能参数。结果表明本征层辉光... 采用RF-PECVD在不锈钢衬底上制备了一系列NIP结构的硅薄膜太阳能电池,得到本征层的辉光功率分别是4W,7.2W,9W,20W,40W。用磁控溅射在P层表面蒸镀ITO透明电极,用太阳能模拟器做光源,测试了电池的串联电阻等性能参数。结果表明本征层辉光功率对电池串联电阻的影响显著。在相同条件下制备了本征单层膜系列样品并进行表征。通过对薄膜性质的分析,运用三相混合模型和渗流理论解释了串联电阻随本征层辉光功率变化的原因。 展开更多
关键词 太阳能电池 辉光功率 硅薄膜 渗流理论
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硅薄膜沉积中等离子体辉光功率和阻抗的测试分析 被引量:4
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作者 张晓丹 张发荣 +2 位作者 Amanatides Elefterious Mataras Dimitris 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期5309-5313,共5页
采用改进的电压和电流测试方法对衬底电极外加不同电压Vs的射频等离子体中的阻抗和功率消耗进行了测试分析.结果表明:在射频电极施加恒定的电压Vel时,随衬底电极外加电压Vs的增加,辉光的电流在增加,结果导致阻抗在减小;另外,通过计算分... 采用改进的电压和电流测试方法对衬底电极外加不同电压Vs的射频等离子体中的阻抗和功率消耗进行了测试分析.结果表明:在射频电极施加恒定的电压Vel时,随衬底电极外加电压Vs的增加,辉光的电流在增加,结果导致阻抗在减小;另外,通过计算分析发现:仅有一小部分功率用于辉光,大部分功率消耗在匹配器和电缆上.通过对等离子体电学特性的综合测试分析也说明:在保证有足够多的硅烷时,衬底电极外加电压Vs增加时将会提高薄膜的沉积速率. 展开更多
关键词 等离子体 辉光功率 阻抗 诊断
原文传递
柔性衬底微晶硅薄膜太阳电池研究
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作者 周丽华 刘成 +2 位作者 叶晓军 钱子勍 陈鸣波 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1436-1439,共4页
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了系列本征微晶硅薄膜材料和nip单结微晶硅太阳电池,研究了硅烷浓度、衬底温度和辉光功率等沉积参数与薄膜材料性能、薄膜电池性能三者之间的关系。拉曼光谱和器件测试结果表明:随硅烷浓度的... 采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了系列本征微晶硅薄膜材料和nip单结微晶硅太阳电池,研究了硅烷浓度、衬底温度和辉光功率等沉积参数与薄膜材料性能、薄膜电池性能三者之间的关系。拉曼光谱和器件测试结果表明:随硅烷浓度的增加,本征层晶化率逐渐减小,直至转变为非晶硅;沉积温度高于200℃时,电池性能严重恶化;随等离子辉光功率增加,材料晶化率保持不变,而电池开路电压逐渐增大,短波光谱响应逐渐增强。在此基础上,优化了单结微晶硅电池沉积参数,得到效率为6.48%(AMO,25℃)的单结微晶硅薄膜太阳电池;并将其应用到非晶硅/微晶硅叠层电池中,在不锈钢柔性衬底上得到效率为9.28%(AMO,25℃)的叠层电池。 展开更多
关键词 硅烷浓度 衬底温度 辉光功率 柔性衬底 nip微晶硅电池 非晶硅/微晶硅叠层电池
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本征层工艺参数对微晶硅太阳电池开路电压的影响
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作者 陈阳洋 雷青松 +3 位作者 曾祥斌 何俊刚 薛俊明 孙小虎 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2013年第8期94-97,102,共5页
采用甚高频等离子化学增强气相沉积系统(VHF-PECVD)制备器件质量级本征微晶硅薄膜,研究薄膜的光电性质和结晶性质.结果表明:随硅烷浓度增加,薄膜材料的光敏性增加,晶化率减小;辉光功率增加,薄膜材料的光敏性减小,晶化率增加.将本征微晶... 采用甚高频等离子化学增强气相沉积系统(VHF-PECVD)制备器件质量级本征微晶硅薄膜,研究薄膜的光电性质和结晶性质.结果表明:随硅烷浓度增加,薄膜材料的光敏性增加,晶化率减小;辉光功率增加,薄膜材料的光敏性减小,晶化率增加.将本征微晶硅薄膜应用到微晶硅薄膜太阳电池中,测试电池的I-V特性,获得开路电压.结果表明:硅烷浓度增加,电池的开路电压增加;辉光功率增加,电池的开路电压减小. 展开更多
关键词 微晶硅 硅烷浓度 辉光功率 开路电压
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Excess Heat Power Registration in High Voltage Electrolysis Cell Experiments
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作者 Alexander Karabut 《Journal of Environmental Science and Engineering(A)》 2013年第11期697-711,共15页
Experimental research of the heat and high-energy processes occurring in the cathode solid medium in the high voltage electric discharge system (electrolysis cell and glow discharge device) is presented. The experim... Experimental research of the heat and high-energy processes occurring in the cathode solid medium in the high voltage electric discharge system (electrolysis cell and glow discharge device) is presented. The experiments were carried out: Electrolysis in heavy water with a Pd cathode, electrolysis in light water with Ni and Pd cathodes, the glow discharge in deuterium with a Pd cathode. Excess heat was observed in experiments with high-voltage electrolysis (1,000 V or more). The experiments showed that the maximum excess heat power values of 5-8 W for glow discharge and 180-280 W for high-voltage electrolysis and heat efficiency up to 170% for glow discharge, and 800% for high-voltage electrolysis. The production of impurity nuclide yield showing a shift of up to a few per cent from natural isotopic abundances was detected by spark mass spectrometry and by secondary ionic mass spectrometry. The authors propose based on these experimental results a phenomenological model for low energy nuclear reaction. 展开更多
关键词 Electric discharge excess heat power heat efficiency impurity nuclides.
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Excess Heat Power Registration in Experiments with High Voltage Electric Discharge Systems
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作者 Alexander Karabut 《Journal of Energy and Power Engineering》 2013年第9期1735-1744,共10页
The author review results on LENR (low-energy nuclear reaction) processes in the cathodes of a high current glow discharge and a HVEC (high-voltage electrolysis cell). The cathodes used in the experiments were mad... The author review results on LENR (low-energy nuclear reaction) processes in the cathodes of a high current glow discharge and a HVEC (high-voltage electrolysis cell). The cathodes used in the experiments were made of Ni foil, Pd foil, Pd coated Re and solid-state nanostructured Pd. Up to 300 W of excess heat power, with a power gain up to 340%, was observed in experiments using a high-voltage electrolysis cell. Based on these experimental results, we propose a phenomenological model for LENR. 展开更多
关键词 High-voltage discharge excess heat impurity nuclides X-ray emission.
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微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性研究 被引量:1
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作者 张发荣 张晓丹 +3 位作者 Amanatides E Malams D 赵静 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期3022-3026,共5页
采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影响.研究表明:在交流偏压(AC)、悬浮(floating)、负直流加交流(-DC+AC)偏压下,Hα发射强度空间分布规律相... 采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影响.研究表明:在交流偏压(AC)、悬浮(floating)、负直流加交流(-DC+AC)偏压下,Hα发射强度空间分布规律相似,平均鞘层长度相等;正直流加交流(+DC+AC)偏压和接地(grounded)时Hα发射强度显著增强,并存在双峰(doublelayers)现象.增大功率,Hα发射强度也随着增大,并在17W与22W之间产生跳变.电学测试发现功率增大,等离子体电阻降低,电抗降低,电容性增强.并对此进行了分析. 展开更多
关键词 等离子体 发射谱 衬底偏压 辉光功率
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微晶硅锗太阳电池本征层纵向结构的优化 被引量:8
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作者 曹宇 张建军 +5 位作者 李天微 黄振华 马峻 倪牮 耿新华 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期223-229,共7页
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,研究了辉光功率对微晶硅锗材料结构特性和光电特性的影响,提出使用功率梯度的方法制备微晶硅锗薄膜太阳电池本征层.优化后的微晶硅锗本征层不仅保持了晶化率纵向分布的均匀性,而且形成了沿生长方... 采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,研究了辉光功率对微晶硅锗材料结构特性和光电特性的影响,提出使用功率梯度的方法制备微晶硅锗薄膜太阳电池本征层.优化后的微晶硅锗本征层不仅保持了晶化率纵向分布的均匀性,而且形成了沿生长方向由宽到窄的渐变带隙分布,使电池的填充因子和短路电流密度都得到了提高.采用此方法制备的非晶硅/微晶硅锗双结叠层电池转换效率达到了9.54%. 展开更多
关键词 微晶硅锗 辉光功率 带隙调节 太阳电池
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