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利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ
1
作者
蓉佳
《等离子体应用技术快报》
2000年第12期7-8,共2页
关键词
等离子体源
离子植入
等离子体加工
蚀刻
等离子体势
辉光放电源
PⅢ
清洗
下载PDF
职称材料
题名
利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ
1
作者
蓉佳
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第12期7-8,共2页
关键词
等离子体源
离子植入
等离子体加工
蚀刻
等离子体势
辉光放电源
PⅢ
清洗
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
利用可控等离子体势辉光放电源进行PⅢ
蓉佳
《等离子体应用技术快报》
2000
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职称材料
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