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SiC/SiC复合编织管的抗热冲击性能与失效机理研究
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作者 胡庆宽 许琦鹏 +3 位作者 万志慧 杨保建 周为 晋小超 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期288-296,共9页
以二维二轴编织的SiC/SiC复合编织管为研究对象,研究其抗热冲击性能及失效机理。自主搭建了基于石英灯辐照加热的循环热冲击试验平台,基于该平台开展了SiC/SiC复合编织管的循环热冲击试验考核,并对循环热冲击后的复合编织管进行了径向... 以二维二轴编织的SiC/SiC复合编织管为研究对象,研究其抗热冲击性能及失效机理。自主搭建了基于石英灯辐照加热的循环热冲击试验平台,基于该平台开展了SiC/SiC复合编织管的循环热冲击试验考核,并对循环热冲击后的复合编织管进行了径向压缩测试,探究了复合编织管力学性能与破坏机理,拟合得到了热冲击强度退化经验公式。研究结果表明,搭建的循环热冲击试验平台能够模拟快速升降温的实际服役环境,最高升温、降温速率在试验过程中分别可达约40、60℃/s。随着热冲击循环次数的增加,SiC/SiC复合编织管环向拉伸强度下降,且降幅随之增大。热冲击产生的热应力导致纤维周围的基体产生微裂纹,弱化了纤维束与基体之间的连接,这是复合编织管强度降低的原因之一。拟合的强度退化经验公式能够准确描述强度退化规律,可以满足工程应用需求。 展开更多
关键词 陶瓷基复合材料 SiC/SiC复合编织管 石英灯辐照加热 热冲击 失效机理
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应用于半导体工业的硅外延炉发展历程 被引量:2
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作者 唐发俊 赵扬 +1 位作者 黄钦 王楠 《天津科技》 2020年第1期29-31,共3页
随着半导体产业的快速发展,传统的硅抛光片已不能完全满足半导体器件的需求。硅外延片具有质量高、电学性能优越的特点,在分立器件和IC领域已被广泛应用。硅外延片质量的不断提高有赖于外延生长工艺的改进,生长工艺的进步有得益于硅外... 随着半导体产业的快速发展,传统的硅抛光片已不能完全满足半导体器件的需求。硅外延片具有质量高、电学性能优越的特点,在分立器件和IC领域已被广泛应用。硅外延片质量的不断提高有赖于外延生长工艺的改进,生长工艺的进步有得益于硅外延炉设计的改进。通过对各个时期出现的硅外延炉的主要技术特点进行讨论,回顾硅外延炉50年来的发展历程,为今后外延炉设计的发展提供参考借鉴。 展开更多
关键词 硅外延炉 电磁感应加热 辐照加热 单片式硅外延炉
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Applied Materials Centura系列单片式硅外延炉的先进性研究
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作者 唐发俊 赵扬 +2 位作者 李明达 马丽颖 王楠 《天津科技》 2020年第5期40-42,共3页
随着半导体元器件制造要求的不断提高,对硅外延片的质量要求也不断提高。一方面,为了改善硅外延片的厚度和电阻率均匀性,硅外延炉从多片式逐步转向单片式发展;另一方面,硅外延片的尺寸从小尺寸(4英寸)向大尺寸(8英寸、12英寸)发展。鉴... 随着半导体元器件制造要求的不断提高,对硅外延片的质量要求也不断提高。一方面,为了改善硅外延片的厚度和电阻率均匀性,硅外延炉从多片式逐步转向单片式发展;另一方面,硅外延片的尺寸从小尺寸(4英寸)向大尺寸(8英寸、12英寸)发展。鉴于面向大尺寸的单片式硅外延炉将是未来主导硅外延材料生长的主流设备,对Applied Materials Centura系列单片式硅外延炉的先进性进行分析,分别介绍其设备结构、工艺性能、产量效率等特点,进而提出一些可能需要改进的方向。 展开更多
关键词 硅外延炉 辐照加热 单片式硅外延炉
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RADIATION HAZARD AND PROTECTION OF LOW ENERGY ACCELERATORS
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作者 雷清章 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 1994年第3期188-192,共5页
In this paper, the origin and type of radiation hazards as well as the main aspects of radiation protection for low-energy accelerators are discussed in general, and the problems of radiation protection and the experi... In this paper, the origin and type of radiation hazards as well as the main aspects of radiation protection for low-energy accelerators are discussed in general, and the problems of radiation protection and the experimental results of the operational monitoring of the five accelerators in the institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University, namely, one 1.2 M cyclofron, two Cockroft-waltons and two Van de Graafts, as well as a powerful electron accelerator for industrial irradiation are described. The discussion and evaluation are made according to the requirments of the National standards GB 5172-85. 展开更多
关键词 Low-energy accelerators Radiation hazard Radiation protection
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