高纯气体输配管路系统污染的防治

通常讲的高纯气体不仅指气体中含较少的杂质气氛(纯度)和微量水份(干燥度),而且还应包括洁净度,即含污染物粒子的数量。近10年来,纯、净气体不仅仅局限在微电子行业中应用,而且也应用到其它像饮料,生物医学、化学精制。

洁净室内高纯气体管路系统的洁净技术

提出了超高纯气体输配管路系统的设计目标和该系统安装应达到的技术标准,最终应达到或满足输送气体的中的杂质含量低于ppb级的水平。