边缘效应的去除函数模型及实验

计算机控制光学表面技术(CCOS)是加工光学非球面的一项重要技术。在计算机控制小磨头抛光技术中,边缘效应严重制约了CCOS技术的加工精度和加工效率,是亟待解决的技术难点之一。获得磨头在加工工件边缘时的定量去除模型,并通过驻留时间算法进行补偿,是解决该问题的重要途径。采用边缘压强阶跃分布模型,并通过理论推导,得出边缘效应下的去除函数计算模型。去除函数实验的结果表明,该边缘去除函数计算模型的数值绝对误差在5%内,边缘去除函数模型与实际加工吻合很好,可以用于指导实际抛光过程。