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微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
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作者 邢建平 李秀宇 +4 位作者 曾繁泰 李伟业 蔡成森 李娟 孟令国 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2004年第z2期1209-1215,共7页
利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间＜10s,恢复时间＜15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.
关键词 薄膜 气敏 过冲驰豫 MATLAB
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