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一种提高极值法监控精度的方法
被引量:
8
1
作者
张晓晖
陈清明
+2 位作者
朱伟民
汤炜
杨光
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期386-390,共5页
提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。
关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜厚监控精度
过正控制量
下载PDF
职称材料
基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究
被引量:
2
2
作者
姚细林
童南春
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期266-268,271,共4页
在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下...
在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下首次进行了监控片更换策略优化的沉积仿真模拟。结果表明:在多腔结构膜系的沉积过程中存在着"假性"极值,容易导致某些膜层厚度的严重误差。不同的过正控制量对光学监控效果会产生明显地影响;所给定的过正控制量存在着最佳的监控片更换策略;合适的变过正控制量可进一步改善薄膜的光学性能。
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关键词
光学监控
过正控制量
沉积仿真
光学薄膜
原文传递
题名
一种提高极值法监控精度的方法
被引量:
8
1
作者
张晓晖
陈清明
朱伟民
汤炜
杨光
机构
华中科技大学激光技术国家重点实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期386-390,共5页
文摘
提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度 ,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。
关键词
薄膜淀积
极值监控法
膜厚监控精度
过正控制量
Keywords
film deposition the turning point monitoring approach film thickness monitoring precision overshoot
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究
被引量:
2
2
作者
姚细林
童南春
机构
华中光电技术研究所
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期266-268,271,共4页
文摘
在极值法光学膜厚监控中,使用多少监控片且何时更换(即监控片更换策略)在一定程度上是该膜系镀制成功与否的一个关键因素。分析了在反射式极值法光学监控中监控片更换策略的数值模型。根据大量的实验得到的工艺参数,在不同过正控制量下首次进行了监控片更换策略优化的沉积仿真模拟。结果表明:在多腔结构膜系的沉积过程中存在着"假性"极值,容易导致某些膜层厚度的严重误差。不同的过正控制量对光学监控效果会产生明显地影响;所给定的过正控制量存在着最佳的监控片更换策略;合适的变过正控制量可进一步改善薄膜的光学性能。
关键词
光学监控
过正控制量
沉积仿真
光学薄膜
Keywords
optical monitoring
overshoot
deposition simulation
optical films
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种提高极值法监控精度的方法
张晓晖
陈清明
朱伟民
汤炜
杨光
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001
8
下载PDF
职称材料
2
基于监控片更换策略的光学监控沉积仿真研究
姚细林
童南春
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
原文传递
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