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过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备
1
作者
阿布力孜.伊米提
伊藤公纪
《新疆大学学报(理工版)》
CAS
2002年第1期72-74,共3页
用过氧聚钨酸 (PPTA)水溶液 ,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为 1 0 0nm的 PPTA薄膜 .利用 PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点 ,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法 ,制备了凹面光栅 .结果表明 ,...
用过氧聚钨酸 (PPTA)水溶液 ,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为 1 0 0nm的 PPTA薄膜 .利用 PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点 ,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法 ,制备了凹面光栅 .结果表明 ,PPTA是作为研制光栅以及其它光学元件的薄膜材料 。
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关键词
过氧聚钨酸薄膜
光栅
双光束干涉曝光法
光集成回路
制备原理
离心涂膜法
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职称材料
题名
过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备
1
作者
阿布力孜.伊米提
伊藤公纪
机构
新疆大学化学与化工学院
横滨国立大学环境科学研究中心
出处
《新疆大学学报(理工版)》
CAS
2002年第1期72-74,共3页
文摘
用过氧聚钨酸 (PPTA)水溶液 ,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为 1 0 0nm的 PPTA薄膜 .利用 PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点 ,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法 ,制备了凹面光栅 .结果表明 ,PPTA是作为研制光栅以及其它光学元件的薄膜材料 。
关键词
过氧聚钨酸薄膜
光栅
双光束干涉曝光法
光集成回路
制备原理
离心涂膜法
Keywords
peroxopolytungstic acid thin film
diffraction grating
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备
阿布力孜.伊米提
伊藤公纪
《新疆大学学报(理工版)》
CAS
2002
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