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等离子体增强原子层沉积技术制备过渡金属薄膜的研究进展 被引量:3
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作者 田旭 张翔宇 +3 位作者 李杨 刘博文 杨丽珍 刘忠伟 《真空与低温》 2021年第1期20-31,共12页
原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受... 原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受到研究者的关注。本文介绍了PEALD技术的基本原理以及相对于其他薄膜沉积技术的优势,之后从前驱体和基底材料的影响等方面介绍了利用PEALD制备Ti、Co、Ni、Cu、Ru、Pd、Ag、Ta、Ir和Pt等过渡金属薄膜以及它们在微电子领域的应用现状,最后进行了总结和展望。 展开更多
关键词 过渡金属薄膜 等离子体增强原子层沉积 低温
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3d过渡金属薄膜磁晶各向异性能的应变调控
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作者 庞晶曼 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 CAS 2017年第3期36-42,共7页
目的研究应变对材料磁晶各向异性能的影响对于设计高密度磁存储材料至关重要。方法结合第一性原理全电子方法和转矩法,研究单层Fe,Co,Ni薄膜在Pt(001)面上的磁晶各向异性能随应变的变化。结果研究结果表明,应变对3种薄膜的磁晶各向异性... 目的研究应变对材料磁晶各向异性能的影响对于设计高密度磁存储材料至关重要。方法结合第一性原理全电子方法和转矩法,研究单层Fe,Co,Ni薄膜在Pt(001)面上的磁晶各向异性能随应变的变化。结果研究结果表明,应变对3种薄膜的磁晶各向异性能均有明显的调节作用。拉伸应变降低Fe/Pt(001)的垂直磁晶各向异性能,而压缩应变使其增加。Ni/Pt(001)具有比Fe/Pt(001)更大的垂直磁晶各向异性能。Ni/Pt(001)的磁晶各向异性能随拉伸应变增加而随压缩应变减少。不同的是,Co/Pt(001)的易磁化轴位于水平方向。其磁晶各向异性能随应变的变化与Fe/Pt(001)类似。结论以Fe/Pt(001)为例,通过分析磁晶各向异性能在二维布里源区的分布和能带结构,发现关键的电子态,即Fe原子的dxy和dx2-y2态,Fe/Pt(001)的磁晶各向异性能的变化主要是这些电子态随应变的变化引起的。本结果将为实验研究应变对磁晶各向异性能的影响提供理论依据。 展开更多
关键词 磁晶各向异性能 第一性原理 3d过渡金属薄膜
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Freestanding oxide membranes:synthesis,tunable physical properties,and functional devices
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作者 Ao Wang Jinfeng Zhang Lingfei Wang 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期2-17,1,I0002,共18页
The study of oxide heteroepitaxy has been hindered by the issues of misfit strain and substrate clamping,which impede both the optimization of performance and the acquisition of a fundamental understanding of oxide sy... The study of oxide heteroepitaxy has been hindered by the issues of misfit strain and substrate clamping,which impede both the optimization of performance and the acquisition of a fundamental understanding of oxide systems.Recently,however,the development of freestanding oxide membranes has provided a plausible solution to these substrate limitations.Single-crystalline functional oxide films can be released from their substrates without incurring significant damage and can subsequently be transferred to any substrate of choice.This paper discusses recent advancements in the fabrication,adjustable physical properties,and various applications of freestanding oxide perovskite films.First,we present the primary strategies employed for the synthesis and transfer of these freestanding perovskite thin films.Second,we explore the main functionalities observed in freestanding perovskite oxide thin films,with special attention to the tunable functionalities and physical properties of these freestanding perovskite membranes under varying strain states.Next,we encapsulate three representative devices based on freestanding oxide films.Overall,this review highlights the potential of freestanding oxide films for the study of novel functionalities and flexible electronics. 展开更多
关键词 freestanding oxide membranes transition metal oxides thin films electronic devices
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宽固溶区过渡金属氮化物MN_x(M=Ti,Zr,Hf)硬质薄膜原子尺度强化机制研究 被引量:1
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作者 韩克昌 刘一奇 +3 位作者 林国强 董闯 邰凯平 姜辛 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1601-1609,共9页
采用增强磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si基片上制备了3组不同过渡金属的氮化物薄膜MN_x(M=Ti,Zr,Hf).利用FESEM,GIXRD,XPS,Nano Indenter等方法对MNx薄膜的形貌、厚度、相结构、成分、元素的化学态、残余应力、弹性模量和硬度等进行了表... 采用增强磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si基片上制备了3组不同过渡金属的氮化物薄膜MN_x(M=Ti,Zr,Hf).利用FESEM,GIXRD,XPS,Nano Indenter等方法对MNx薄膜的形貌、厚度、相结构、成分、元素的化学态、残余应力、弹性模量和硬度等进行了表征.结果表明,3组MNx薄膜均在较宽的成分范围内表现为fcc单相结构,并且同组薄膜间的择优取向、厚度、晶粒尺寸和残余应力等均基本保持一致;特别是3组薄膜的硬度和弹性模量均随N成分x的变化而变化,并且都在x=0.82附近出现性能峰值.分析表明,MNx薄膜与成分相关的性能增强,其决定性因素不在于介观尺度的晶粒细化、择优取向及内应力等,而是取决于原子尺度的化学键合及电子结构等因素. 展开更多
关键词 过渡金属氮化物薄膜 电弧离子镀 成分 力学性能 强化机制
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金属薄膜/有机材料基体系激光刻蚀研究(英文) 被引量:3
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作者 王瑞 陈学康 +3 位作者 任妮 吴敢 杨建平 曹生珠 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S2期240-242,共3页
激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响。基于在多层材料表面金属薄膜激光刻... 激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响。基于在多层材料表面金属薄膜激光刻蚀的物理机制,通过讨论和分析实验结果,发现激光刻蚀的物理过程主要受有机材料和金属薄膜之间界面效应的影响,为获得锐利和对有机材料无损伤的刻蚀效果,在金属薄膜和有机材料之间增加厚度约为200 nm的Cr过渡层可提高激光刻蚀的质量,而界面处的有机过渡层应选择对刻蚀激光波长高透过率的材料。 展开更多
关键词 激光刻蚀 界面效应 金属薄膜过渡
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Electronic structure evolutions driven by oxygen vacancy in SrCoO3-x films
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作者 赵佳丽 罗毅 +16 位作者 王嘉鸥 钱海杰 刘晨 何旭 张庆华 黄河意 张兵兵 李顺芳 郭尔佳 葛琛 杨铁莹 李晓龙 何萌 谷林 金奎娟 奎热西·依布拉欣 郭海中 《Science China Materials》 SCIE EI CSCD 2019年第8期1162-1168,共7页
Ionic defects, such as oxygen vacancies, play a crucial role in the magnetic and electronic states of transition metal oxides. Control of oxygen vacancy is beneficial to the technological applications, such as catalys... Ionic defects, such as oxygen vacancies, play a crucial role in the magnetic and electronic states of transition metal oxides. Control of oxygen vacancy is beneficial to the technological applications, such as catalysis and energy conversion. Here, we investigate the electronic structure of SrCoO3-x as a function of oxygen content(x). We found that the hybridization extent between Co 3d and O 2p increased with the reduction of oxygen vacancies. The valence band maximum of SrCoO2.5+δ has a typical O 2p characteristic. With further increasing oxygen content, the Co ions transform from a high spin Co3+ to an intermediate spin Co4+, resulting in a transition of SrCoO3-x from insulator to metal. Our results on the electronic structure evolution with the oxygen vacancies in SrCoO3-x not only illustrate a spin state transition of Co ions,but also indicate a perspective application in catalysis and energy field. 展开更多
关键词 oxygen vacancies SrCoO3-x electronic structure evolution resonant photoemission spectra
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