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过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响
被引量:
1
1
作者
宋曙光
沈鸿烈
+2 位作者
王美玲
高超
袁成逸
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期240-243,共4页
采用射频磁控溅射的方法在Si衬底上制备了掺Mn的SiC薄膜,用X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、扫描电镜及荧光光谱等方法,对薄膜的结构、表面形貌、化学键状态和光学性能进行了研究。结果表明:掺Mn使SiC晶格发生畸变,X射线衍射峰强度下降,...
采用射频磁控溅射的方法在Si衬底上制备了掺Mn的SiC薄膜,用X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、扫描电镜及荧光光谱等方法,对薄膜的结构、表面形貌、化学键状态和光学性能进行了研究。结果表明:掺Mn使SiC晶格发生畸变,X射线衍射峰强度下降,Si-C键振动减弱;同时,由于掺Mn后提供了更多的Si空位复合发光中心,SiC薄膜在近带边414 nm处的室温光荧光峰增强为1.3倍。
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关键词
SIC薄膜
磁控溅射
过渡金属mn
光学性能
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职称材料
题名
过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响
被引量:
1
1
作者
宋曙光
沈鸿烈
王美玲
高超
袁成逸
机构
南京航空航天大学材料科学与技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期240-243,共4页
基金
国家863项目(No.2006AA03Z219)
南京航空航天大学引进人才基金(No.S0417061)
文摘
采用射频磁控溅射的方法在Si衬底上制备了掺Mn的SiC薄膜,用X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、扫描电镜及荧光光谱等方法,对薄膜的结构、表面形貌、化学键状态和光学性能进行了研究。结果表明:掺Mn使SiC晶格发生畸变,X射线衍射峰强度下降,Si-C键振动减弱;同时,由于掺Mn后提供了更多的Si空位复合发光中心,SiC薄膜在近带边414 nm处的室温光荧光峰增强为1.3倍。
关键词
SIC薄膜
磁控溅射
过渡金属mn
光学性能
Keywords
SiC film, Magnetron sputtering, Transition metal
mn
Optical properties
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响
宋曙光
沈鸿烈
王美玲
高超
袁成逸
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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