基于逐次二点法三坐标测量机直线度运动误差的测量

分析了逐次二点法在三坐标测量机直线度运动误差测量方面的可行性,介绍了逐次二点法的测量原理,并定量分析了传感器及安装引起的误差。对现有的三坐标测量机进行测量,结果表明,采用逐次二点法对直线度运动误差测量实用可靠,可以满足测量的要求。

3-PUU并联测量机滑块运动误差分析

3-PUU并联坐标测量机中滑块运动误差是关键的误差源,必须予以修正。定性分析滑块运动误差对万向铰链中心位置和光栅读数的影响,建立基于滑块运动直线度的仪器误差模型。将双频激光干涉仪获取的运动直线度误差数据进行拟合,并以此为基础定量分析此项误差对仪器总误差的贡献,为完成该项误差的修正奠定了基础,这对于仪器总体精度的提高及后续测量机结构参数的标定具有重要的意义和价值。

大跨距、小步距法测量导轨系统的导轨直线度研究

在导轨系统中,导轨的直线度误差通常可利用自准直仪或电子水平仪,采用节距法来达到误差检定的目的。而节距法只对导轨副行程相对较大的导轨系统奏效,对于文中提到的两类小行程导轨系统而言,传统的节距法则无法实现测量。针对两类跨距大而行程范围相对较小的导轨系统,笔者基于导轨系统中导轨直线度、直线度运动误差、角运动误差三者之间的相互关系,提出以大跨距、小步距法测量该类导轨系统的导轨直线度;结合双频激光干涉仪和电子水平仪测量运动部件所得到的直线度运动误差,以及对应位置下的角运动误差,处理得到了导轨系统的导轨直线度。

浅谈三坐标测量机应用滚珠直线导轨时应注意的问题

本文以滚珠直线导轨的运动精度试验为基础,结合三坐标测量机的误差原理,进行理论分析,论述了在三坐标测量机中应用滚珠直线导轨时应注意的问题,为三坐标测量机的设计开发提供了理论依据。

一种滚转角和直线度同步干涉测量方法的研究

提出一种用于精密线性位移台滚转角和运动直线度同步测量的激光外差干涉系统。该干涉系统由一个Koster棱镜、角隅棱镜、分光镜、1/2波片、直角棱镜、1/4波片以及楔面棱镜和楔面反射镜组成。楔面棱镜作为测量运动直线度和滚转角的传感器固定在线性导轨上,当双频激光器的光射入干涉系统中后,形成空间对称的六光束测量信号。空间结构对称、系统共光路的特点使光学分辨率比普通的迈克尔逊干涉仪高一倍,光程死区达到最小。系统稳定性好,抗环境干扰能力强。光路对称使得增加或减小的光程变化相同,其他自由度引起的光程变化相互抵消,仅有运动直线度和滚转角的变化可以进入光程差,有效地排除其他自由度及阿贝误差的串扰,实现高精密测量。试验证明相互平行且不同频率的两束光在同一反射系统中发生运动直线度偏移和滚转角变化时,通过两束光携带的不同相位信息能直接得到运动直线度和滚转角的变化值。它不需要一条与行程同样长度的大反射镜作参考便能够实现高分辨率测量,简单实用,可直接溯源米定义。