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题名高速单行载流子光电二极管的近弹道优化设计
被引量:5
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作者
甄政
郝然
邢东
冯志红
金尚忠
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机构
浙江大学信息与电子工程学院
中国计量大学光学与电子科技学院
中国电子科技集团第十三研究所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期187-194,共8页
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基金
国家自然科学基金(61975182,61575174)
浙江省杰出青年基金(LR16F050002)
国防实验室开放课题。
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文摘
基于近弹道优化的方法提出了一种高性能的单行载流子光电二极管(UTC-PD)的设计方案,用该方案制备的UTC-PD具有大的响应速度、响应度和饱和输出,且可减轻负载电压摆幅效应。设计的新光电二极管采用具有渐变掺杂的部分耗尽吸收层。在收集层底部插入p型掺杂薄电荷层,对器件内部电场进行了优化设计,让光生电子以过冲速度漂移,这样可减少电子的渡越时间,并使器件具备了高偏置电压操作能力,从而增大3 dB带宽,提升饱和性能。仿真分析表明,在8 V的高反向偏置电压条件下,有源区面积为16 μm 2的该器件可以获得超过86 GHz的3 dB带宽,响应度为0.17 A/W。
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关键词
光电子学
光电二极管
单行载流子光电二极管
高速
近弹道优化
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Keywords
optoelectronics
photodiodes
uni-traveling-carrier photodiode
high speed
nearly-ballistic optimization
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分类号
TN364
[电子电信—物理电子学]
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