多薄膜层材料近旁轴激光波束散射及影响因素分析

研究了多种材料、涂层及多层介质薄膜近旁轴激光波束入射下的散射特征。数值计算不同材料,不同极化方式和入射角的激光波束单、双站散射系数,并分析不同材料物性参数、激光波束束腰半径和入射角对材料散射系数的影响。计算结果表明,金属较介质材料单、双站散射系数大,材料的介电常数、高度起伏和相关长度影响散射系数显著;对介质薄膜材料,多层介质薄膜较单层后向散射系数小9.21db;改变入射角度时,离轴激光波束对介质单多层薄膜材料散射系数影响都较小;且波束束腰半径和入射波长相比拟时,激光波束散射较强,波束束腰半径远大于入射波长时,波束逐渐趋向于平面波。