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近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法
被引量:
2
1
作者
王金涛
刘子勇
+2 位作者
佟林
罗志勇
李占宏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期475-480,共6页
近单晶硅密度液体(DSL-2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中,其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度,研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法。将...
近单晶硅密度液体(DSL-2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中,其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度,研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法。将单晶硅球放置于充满DSL-2329液体的密闭容器内,通过改变DSL-2329液体的温度和静压力可以进行液体密度的微量调节,从而实现单晶硅球在液体中的静液悬浮。对于一个单晶硅球而言,可以在不同液体温度和静压力条件下实现静液悬浮,其中温度和静压力满足线性模型,测量出这个线性常数就可以计算出液体压缩系数。设计了单晶硅球静液悬浮测量系统,实现水浴温控系统在3 h之内可以保持在±1.0×10-4℃的范围内,通过PID控制系统调节静压力实现单晶硅球的静态悬浮。实验数据表明,由三溴丙烷和二溴乙烷组成的DSL-2329液体压缩系数为5.15×10-10Pa-1,验证了单晶硅球静液悬浮测量方法的有效性。
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关键词
单晶
硅
球
静液悬浮
近硅密度液体
压缩系数
热膨胀系数
测量
下载PDF
职称材料
题名
近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法
被引量:
2
1
作者
王金涛
刘子勇
佟林
罗志勇
李占宏
机构
中国计量科学研究院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期475-480,共6页
基金
国家自然科学基金(51105347)
质检公益性行业专项(AGY0711)资助项目
文摘
近单晶硅密度液体(DSL-2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中,其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加工质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度,研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法。将单晶硅球放置于充满DSL-2329液体的密闭容器内,通过改变DSL-2329液体的温度和静压力可以进行液体密度的微量调节,从而实现单晶硅球在液体中的静液悬浮。对于一个单晶硅球而言,可以在不同液体温度和静压力条件下实现静液悬浮,其中温度和静压力满足线性模型,测量出这个线性常数就可以计算出液体压缩系数。设计了单晶硅球静液悬浮测量系统,实现水浴温控系统在3 h之内可以保持在±1.0×10-4℃的范围内,通过PID控制系统调节静压力实现单晶硅球的静态悬浮。实验数据表明,由三溴丙烷和二溴乙烷组成的DSL-2329液体压缩系数为5.15×10-10Pa-1,验证了单晶硅球静液悬浮测量方法的有效性。
关键词
单晶
硅
球
静液悬浮
近硅密度液体
压缩系数
热膨胀系数
测量
Keywords
silicon single crystal sphere
hydrostatic suspension
density standard liquid close to silicon
compres-sion coefficient
thermal expansion coefficient
measurement
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法
王金涛
刘子勇
佟林
罗志勇
李占宏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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职称材料
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