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一种简便的真空室返油清洗法
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作者 杨德甫 张富春 杨能勋 《物理通报》 2003年第2期46-46,共1页
在真空镀膜实验中,若遇突然停电而未及时采取应对措施,或操作不当(例如关闭机械泵时未很快将机械泵放气阀门打开),则会发生机械泵油进入真空室和扩散泵的返油事故(当通往真空室和扩散泵的真空管路阀门均开启时).
关键词 清洗方法 返油故障 真空镀膜 真空室
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