远心物镜设计

介绍远心成像原理。讨论测量精度为± 0 .0 0 3mm的 CCD尺寸检测系统的远心物镜设计。

高精度CCD尺寸自动检测系统的光学系统设计

介绍测量精度为±０．００３ｍｍ的ＣＣＤ尺寸检测系统的光学系统设计特点及远心物镜设计原理，并给出了测试结果。

浅谈提高数码照相机成像质量的途径

影响数码照相机成像质量的因素有很多,本文在简单叙述了图像传感器传递图像信息过程后,从光学角度分析对数码照相机物镜的要求,提出了一种与图像传感器特点相适应的光学设计方法,提出对设计和制造过程中的杂光问题的探讨。

高精度CCD尺寸自动检测系统的光学系统设计

本文介绍了测量精度为±０．００３ｍｍ的ＣＣＤ尺寸自动检测系统的工作原理。详细地讨论了光学系统的设计和远心物镜的结构。并且进行了光学计算和像差校正。给出了像差曲线和实测结果。该仪器具有自动检测精度高、快速和性能可靠等优点。已在工业生产中得到了很好地应用。

IC探针卡激光微孔加工系统与工艺开发研究

本文简单介绍半导体产业集成电路芯片测试用探针卡,分为以悬臂梁方式的环氧探针(Epoxy ring probe)、垂直探针(Vertical probe card)和微弹簧丝探针(Microspring probe card),以及基于微机电系统的MEMS probe card。采用半导体泵浦紫外固体激光(UV DPSSL 355nm),开发了激光微孔成型精细加工系统,运用新的光学设计思想开发了远心扫描物镜等光学元件,成功研制了紫外激光微加工光学系统,开展IC半导体芯片测试探针卡探针导向片微孔列阵成型工艺和材料特性研究,进一步研制开发了新型旋转打孔的电子光学系统。