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连续刚度法对单晶硅片的力学性能的表征
被引量:
4
1
作者
孙玉利
左敦稳
+2 位作者
朱永伟
徐锋
王珉
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1484-1487,1491,共5页
利用纳米压痕仪通过连续刚度测量法对单晶硅片在压入过程中的接触刚度、硬度、弹性模量进行了连续测量。结果表明:当接触深度在20~32nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,此时所测得的是单晶...
利用纳米压痕仪通过连续刚度测量法对单晶硅片在压入过程中的接触刚度、硬度、弹性模量进行了连续测量。结果表明:当接触深度在20~32nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,此时所测得的是单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量,分别约为10.2 GPa和140.3 GPa。当接触深度在32~60nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成非直线关系,硬度和弹性模量随接触深度急剧增加,表明单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量受到了基体材料的影响。当接触深度在60nm以上时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,测得值为单晶硅的硬度和弹性模量,分别约为12.5GPa和165.6GPa。
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关键词
连续刚度法
单晶硅片
纳米压痕
力学性能
下载PDF
职称材料
基于纳米压痕技术研究2024-T4铝合金力学性能
2
作者
刘佳伟
郎风超
+4 位作者
王时雨
季宏伟
赵学平
王飞
武翔宇
《轻金属》
北大核心
2023年第8期47-52,共6页
采用纳米压痕连续刚度技术(CSM)对铝合金在不同压痕深度以及不同压头半径下的力学响应进行分析。通过不同分析方法将载荷-压痕深度关系转换为压痕应力-应变(σ-ε)关系,并与宏观性能对比得到最优方法。结果表明,半径为250μm的压头在最...
采用纳米压痕连续刚度技术(CSM)对铝合金在不同压痕深度以及不同压头半径下的力学响应进行分析。通过不同分析方法将载荷-压痕深度关系转换为压痕应力-应变(σ-ε)关系,并与宏观性能对比得到最优方法。结果表明,半径为250μm的压头在最大压痕深度为550 nm时测得的平均弹性模量为66.4 GPa,其值与宏观拉伸弹性模量相差2.3%;采用限制因子1.6作为应力转换系数,通过几何接触半径与Tabor方法相结合可得到准确的塑形性能,名义屈服应力为290 MPa,与宏观拉伸屈服应力误差约为1.4%。
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关键词
纳米压痕
连续刚度法
2024系铝合金
应力-应变
力学性能
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职称材料
620MPa级海洋平台钢的连续冷却转变
被引量:
5
3
作者
吴晓川
陈雨来
+1 位作者
武会宾
蔡庆伍
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S2期53-57,共5页
利用热膨胀仪绘制并分析了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变曲线,并辅以金相法、显微硬度法和连续刚度法研究了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变产物及组织特征。结果表明,在冷速小于8℃/s时,试验钢连续冷却转变产物主要是多边形铁...
利用热膨胀仪绘制并分析了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变曲线,并辅以金相法、显微硬度法和连续刚度法研究了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变产物及组织特征。结果表明,在冷速小于8℃/s时,试验钢连续冷却转变产物主要是多边形铁素体、针状铁素体和粒状贝氏体;在冷速增大到10℃/s时,试验钢中开始出现板条贝氏体,板条贝氏体含量随着冷速的增大而增加;冷速达到50℃/s时,试验钢组织中出现马氏体板条,马氏体板条的出现可有效提高试验钢的硬度。
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关键词
海洋平台用钢
连续刚度法
马氏体
CCT曲线
原文传递
题名
连续刚度法对单晶硅片的力学性能的表征
被引量:
4
1
作者
孙玉利
左敦稳
朱永伟
徐锋
王珉
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期1484-1487,1491,共5页
基金
江苏省自然科学基金前期预研(BK2005215)项目
普通高校研究生创新计划(CX07B_066z)资助项目。
文摘
利用纳米压痕仪通过连续刚度测量法对单晶硅片在压入过程中的接触刚度、硬度、弹性模量进行了连续测量。结果表明:当接触深度在20~32nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,此时所测得的是单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量,分别约为10.2 GPa和140.3 GPa。当接触深度在32~60nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成非直线关系,硬度和弹性模量随接触深度急剧增加,表明单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量受到了基体材料的影响。当接触深度在60nm以上时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,测得值为单晶硅的硬度和弹性模量,分别约为12.5GPa和165.6GPa。
关键词
连续刚度法
单晶硅片
纳米压痕
力学性能
Keywords
continuous stiffiaess measurement
silicon wafer
nanoindentation
mechanical property
分类号
TQ302.3 [化学工程]
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职称材料
题名
基于纳米压痕技术研究2024-T4铝合金力学性能
2
作者
刘佳伟
郎风超
王时雨
季宏伟
赵学平
王飞
武翔宇
机构
内蒙古工业大学理学院
内蒙古工业大学材料科学与工程学院
出处
《轻金属》
北大核心
2023年第8期47-52,共6页
基金
国家自然科学基金(11762013)
内蒙古自治区自然科学基金(2021MS01019)。
文摘
采用纳米压痕连续刚度技术(CSM)对铝合金在不同压痕深度以及不同压头半径下的力学响应进行分析。通过不同分析方法将载荷-压痕深度关系转换为压痕应力-应变(σ-ε)关系,并与宏观性能对比得到最优方法。结果表明,半径为250μm的压头在最大压痕深度为550 nm时测得的平均弹性模量为66.4 GPa,其值与宏观拉伸弹性模量相差2.3%;采用限制因子1.6作为应力转换系数,通过几何接触半径与Tabor方法相结合可得到准确的塑形性能,名义屈服应力为290 MPa,与宏观拉伸屈服应力误差约为1.4%。
关键词
纳米压痕
连续刚度法
2024系铝合金
应力-应变
力学性能
Keywords
nanoindentation
CSM
2024 aluminum alloy
stress-strain
mechanical properties
分类号
TF806.1 [冶金工程—有色金属冶金]
TB31 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
620MPa级海洋平台钢的连续冷却转变
被引量:
5
3
作者
吴晓川
陈雨来
武会宾
蔡庆伍
机构
北京科技大学冶金工程研究院
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S2期53-57,共5页
文摘
利用热膨胀仪绘制并分析了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变曲线,并辅以金相法、显微硬度法和连续刚度法研究了620 MPa级海洋平台钢的连续冷却转变产物及组织特征。结果表明,在冷速小于8℃/s时,试验钢连续冷却转变产物主要是多边形铁素体、针状铁素体和粒状贝氏体;在冷速增大到10℃/s时,试验钢中开始出现板条贝氏体,板条贝氏体含量随着冷速的增大而增加;冷速达到50℃/s时,试验钢组织中出现马氏体板条,马氏体板条的出现可有效提高试验钢的硬度。
关键词
海洋平台用钢
连续刚度法
马氏体
CCT曲线
Keywords
off-shore platform plate steel
continuous stiffness measurement technique
martensite
CCT curve
分类号
TG156.1 [金属学及工艺—热处理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
连续刚度法对单晶硅片的力学性能的表征
孙玉利
左敦稳
朱永伟
徐锋
王珉
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
下载PDF
职称材料
2
基于纳米压痕技术研究2024-T4铝合金力学性能
刘佳伟
郎风超
王时雨
季宏伟
赵学平
王飞
武翔宇
《轻金属》
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
3
620MPa级海洋平台钢的连续冷却转变
吴晓川
陈雨来
武会宾
蔡庆伍
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
5
原文传递
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