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题名连续拉晶下石英坩埚内气泡变化规律及晶棒的性能研究
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作者
张二东
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机构
双良硅材料(包头)有限公司
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出处
《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》
2023年第11期57-59,共3页
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文摘
本研究致力于深入探讨连续拉晶过程中晶棒性能的改进方法,特别关注了石英坩埚内气泡变化规律以及晶棒的性能优化。通过分析石英坩埚内气泡的形成机制、晶棒材料的选择、先进工艺技术的应用以及晶棒性能与实际应用的关联,本研究提出了一系列关键策略。研究结果表明,在拉晶过程中,通过控制热传导、气体扩散和过程参数优化,可以显著降低气泡的生成,从而提高晶棒的质量和性能。此外,晶棒材料的选择和先进工艺技术的应用也对性能改进起到重要作用。最后,本研究强调了晶棒性能与实际应用之间的关联,强调了定制化的需求,以满足不同领域的需求。
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关键词
连续拉晶
气泡形成机制
晶棒材料
工艺技术
性能改进
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分类号
TM914
[电气工程—电力电子与电力传动]
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