步进扫描光刻机硅片台连续扫描时间优化算法

为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间(扫描时间和步进时间),将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法(时间重叠算法)处理连续曝光扫描运动。在不破坏运动约束条件下(恒速运动要求以及速度、加速度边界限制),根据时间重叠算法重新计算并推导不同扫描运动路径下连续扫描运动过程的步进和扫描运动转折点。经理论分析和硅片曝光场连续曝光实例计算表明:基于时间重叠算法的轨迹规划可获得时间优化的硅片台连续曝光扫描,比传统扫描方法减少曝光扫描运动过程中的无效率时间,提高步进扫描光刻机生产率,为步进扫描光刻机工程实践提供理论基础。

用于DR系统的高压发生器和球管的性能评估方法及建议

在DR系统设计中,高压发生器和球管是两个核心组件,它们的性能直接影响着系统的曝光效能。该文首先阐述了为何在DR产品设计过程中需要对这两个部件的性能进行深入评估,接着详细介绍了评估方法,包括单次曝光能力和连续曝光能力的评估。最后,该文提供了一些建议和措施,以提升连续曝光能力。这些方法和建议不仅有助于选择合适的关键部件,也为DR系统的设计、集成和测试提供了重要的参考依据。

粒子运动轨迹的图像处理及流场重构算法研究

为了高效获得颗粒的速度分布,提出一种针对单帧单曝光图像的图像处理方法和流场重构方法。图像处理过程包含去噪、锐化、自适应阈值分割、闭运算、去除小颗粒、骨架提取、速度提取、二义性判断、求切线等步骤和方法,对该处理过程的主要误差也进行了分析与修正。流场重构使用了基于RBF(Radial Basis Function)插值且采用迎风插值进行优化的算法,插值结果以速度云图及矢量图的形式展示,对该过程的主要误差也进行了分析与验证。最后的处理结果显示,针对单帧单曝光图像的图像处理方法和流场重构方法具有可行性。

杭州三家新闻单位发起“公德与公益大讨论”

一个多月来,杭州的三家新闻单位向市民的生活陋习发起猛烈抨击,此举已引起杭州各界的广泛关注和好评,越来越多的市民开始参与这场讨论.