微直流伺服电机在光刻机中的应用研究

从实际应用出发,介绍了微直流伺服电机在光刻机中的选型分析。根据具体负载要求,确定所需电机相应的参数,从而得到能满足驱动需求的最优化的电机。

maxon motor公司高性能工业电机

maxon motor推出一种300瓦型号电机，增加了其专门的4电极产品范围。这一新电机在4000转／分（rpm）时具有超过500mNm的连续转矩，无需安装齿轮即可使用。适合所有工业应用，该电机装在一个长155毫米、截面积45平方毫米的机壳内。电机具有Systemmaxon无线绕组的所有重要优点。由于采用无槽定子，因此没有制动装置，从而具有卓越的控制特性，特别是在用在定位操作中。在速度范围的上端时较为安静，