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退火质子交换Y分支波导弯曲损耗分析 被引量:2
1
作者 武继江 石邦任 郭丽君 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期786-789,共4页
退火质子交换铌酸锂光波导是一类重要的光波导。对采用该技术制备的,具有余弦型弯曲的Y分支光波导,利用宽角有限差分光束传播法,就过渡区长度、波导折射率增量、掩模版开口宽度等对波导弯曲损耗的影响进行了研究,并与余弦型弯曲波导进... 退火质子交换铌酸锂光波导是一类重要的光波导。对采用该技术制备的,具有余弦型弯曲的Y分支光波导,利用宽角有限差分光束传播法,就过渡区长度、波导折射率增量、掩模版开口宽度等对波导弯曲损耗的影响进行了研究,并与余弦型弯曲波导进行了比较。结果表明,Y分支波导和余弦型弯曲波导的弯曲损耗,随波导结构参数的变化基本上是相同的,但二者的表现并不完全一致,因而对Y分支波导结构参数的选择,不能完全依赖于余弦弯曲波导结构的优化。数值结果为相应波导器件的设计和制备提供了一定的参考。 展开更多
关键词 光波导 退火质子交换 弯曲损耗 Y分支
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退火质子交换LiNbO_3光波导的工艺研究 被引量:8
2
作者 夏翔 袁一方 +3 位作者 朱琦莹 傅长松 陈抱雪 陈林 《光学仪器》 2002年第2期27-31,共5页
介绍了质子交换 Li Nb O3 光波导的制作工艺及光学特性测试 ,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺。
关键词 IWBK法 退火质子交换 铌酸锂光波导 集成光学
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退火质子交换法制作LiNbO_3光波导 被引量:2
3
作者 沈映欣 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2000年第A03期75-77,共3页
文章介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO3光波导的工艺过程。
关键词 退火质子交换 光波导 铌酸锂
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质子交换铌酸锂波导的退火工艺 被引量:1
4
作者 罗辉 戴基智 +3 位作者 杨亚培 包洪涛 赵天卓 佟会 《光电子技术与信息》 2006年第2期17-21,共5页
介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。
关键词 光波导 退火质子交换 铌酸锂光波导
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低损耗退火质子交换光波导弯曲损耗分析
5
作者 黄禾 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第3期180-181,230,共3页
波导弯曲部分是出现波导辐射损耗最大的地方,所以在设计弯曲波导时,有必要对波导的这部分进行优化设计处理。该文利用电磁场理论,完成对余弦形分支光波导弯曲部分损耗的数学建模,最后针对铌酸锂基片上,用退火质子交换法生成的分支光波... 波导弯曲部分是出现波导辐射损耗最大的地方,所以在设计弯曲波导时,有必要对波导的这部分进行优化设计处理。该文利用电磁场理论,完成对余弦形分支光波导弯曲部分损耗的数学建模,最后针对铌酸锂基片上,用退火质子交换法生成的分支光波导进行数值仿真。 展开更多
关键词 弯曲波导 辐射损耗 电磁场理论 铌酸锂 退火质子交换
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质子交换铌酸锂波导MMI光功分器 (英文)
6
作者 马慧莲 王明华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期137-140,共4页
利用三维非旁轴近似光束传输法对退火质子交换铌酸锂渐变折射率分布波导中的自镜像效应进行分析与模拟 .在此基础上 ,利用退火质子交换技术在 X切 Y传铌酸锂衬底上进一步制作了 1× 8MMI光功分器 .测试表明器件实现了 1路分成 8路... 利用三维非旁轴近似光束传输法对退火质子交换铌酸锂渐变折射率分布波导中的自镜像效应进行分析与模拟 .在此基础上 ,利用退火质子交换技术在 X切 Y传铌酸锂衬底上进一步制作了 1× 8MMI光功分器 .测试表明器件实现了 1路分成 8路的光功分功能 . 展开更多
关键词 MMI 光功分器 非旁迪近似光束传输法 退火质子交换铌酸锂波导 自镜像效应
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质子交换Y分支光波导弯曲损耗研究
7
作者 武继江 石邦任 孔梅 《光学与光电技术》 2005年第4期39-42,共4页
对采用退火质子交换技术(APE)制备的具有正弦型弯曲和余弦型弯曲两种不同的S型弯曲的Y分支光波导,利用宽角有限差分光束传播法,就过渡区长度、波导表面折射率增量、掩模版开口宽度等对波导弯曲损耗的影响进行了研究。结果表明,两种S弯... 对采用退火质子交换技术(APE)制备的具有正弦型弯曲和余弦型弯曲两种不同的S型弯曲的Y分支光波导,利用宽角有限差分光束传播法,就过渡区长度、波导表面折射率增量、掩模版开口宽度等对波导弯曲损耗的影响进行了研究。结果表明,两种S弯曲下的Y分支波导的弯曲损耗,随波导结构参数的变化基本上是相同的,但二者的表现并不完全一致。数值计算结果为相应波导器件的设计和制备提供了一定的参考。 展开更多
关键词 光波导 退火质子交换 弯曲损耗 Y分支
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用于激光相控阵的阵列相位调制器研究
8
作者 杨登才 王大勇 +3 位作者 杨作运 王云新 戎路 赵洁 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期696-700,共5页
分析了相位调制器在激光相控阵中的重要性,提出了阵列相位调制器的设计思想.对退火质子交换(annealed proton-exchanged,APE)光波导折射率进行了理论分析,利用光束传输法仿真模拟了APE波导折射率分布和模场分布,优化设计了级联Y分支波... 分析了相位调制器在激光相控阵中的重要性,提出了阵列相位调制器的设计思想.对退火质子交换(annealed proton-exchanged,APE)光波导折射率进行了理论分析,利用光束传输法仿真模拟了APE波导折射率分布和模场分布,优化设计了级联Y分支波导结构,实现了光功率的高均匀输出.基于铌酸锂晶体的电光效应,对影响半波电压的因素进行了分析,设计了长电极结构,理论上得到了低半波电压.基于退火质子交换工艺制作了阵列相位调制器,并对器件的光学特性和电学特性进行了实验测试,测得器件的插入损耗为6.83 dB,光功率输出均匀性为0.23 dB,4路半波电压分别为2.1、3.4、2.0、2.1 V.结果表明:该器件的制作有助于激光相控阵的集成化. 展开更多
关键词 阵列相位调制器 退火质子交换波导 Y分支 半波电压
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Nd : MgO : LiNbO_3 和Er : Ti : LiNbO_3 波导激光器的理论研究
9
作者 张德龙 陈才和 +2 位作者 丁桂兰 张俊利 崔宇明 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1998年第2期169-175,共7页
首次报导了Nd∶MgO∶LiNbO3和Er∶Ti∶LiNbO3波导激光器的理论研究结果.对于Nd∶MgO∶LiNbO3质子交换波导激光器,通过假设在波导宽度/深度方向上模场强度分布为Gaussian/Hermite-... 首次报导了Nd∶MgO∶LiNbO3和Er∶Ti∶LiNbO3波导激光器的理论研究结果.对于Nd∶MgO∶LiNbO3质子交换波导激光器,通过假设在波导宽度/深度方向上模场强度分布为Gaussian/Hermite-Gaussian和Gaussian/Two-half-Gaussian两种试探函数,给出了阈值泵浦功率和斜率效率的计算结果.对于钛扩散Er∶Ti∶LiNbO3波导激光器,利用变分法计算了光波导信号和泵浦光模场强度分布高斯参数和有效折射率随波导条宽的变化关系,还计算了相应的有效泵浦面积与信号光及泵浦光之间的耦合效率.此外,直接从Er∶Ti∶LiNbO3光波导的荧光光谱计算了Er3+的受激发射截面,并计算了Er∶Ti∶LiNbO3波导激光器的阈值泵浦功率和斜率效率. 展开更多
关键词 退火质子交换 钛扩散 波导激光器 阈值泵浦功率
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Model GC1312S Multifunction Integrated Optical Circuit Devices
10
作者 ZENGQing-gao LIGang-yi 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2001年第4期193-196,共4页
Model GC1312S multifunction integrated optical circuit device (MIOC) used in inertial grade interferometric fiber optics gyroscopes (IFOGs) is fabricated by annealing and proton exchange process (APE). The unique feat... Model GC1312S multifunction integrated optical circuit device (MIOC) used in inertial grade interferometric fiber optics gyroscopes (IFOGs) is fabricated by annealing and proton exchange process (APE). The unique feature of the device is the incorporation of the beat detection circuit besides all the features the conventional single Y branch multifunction integrated optical circuit devices have. The device structure, operation principle and typical characteristics, etc., are briefly presented in this paper. 展开更多
关键词 差拍检波 退火交换 质子交换 光学电路设计 惯性导航 FOG MIOC
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退火质子交换平面波导型电光调制器的研究 被引量:7
11
作者 廖尉钧 陈险峰 +2 位作者 曾祥龙 李劬 陈英礼 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期865-869,共5页
基于双棱镜耦合m线技术提出了一种新型的平面波导强度调制器。由于质子交换平面波导的导波层在加上电场后折射率发生变化 ,从而引起棱镜耦合输出的m线强度的变化 ,实现电光调制。讨论了电极间隙宽度和导波层吸收对器件性能的影响。与其... 基于双棱镜耦合m线技术提出了一种新型的平面波导强度调制器。由于质子交换平面波导的导波层在加上电场后折射率发生变化 ,从而引起棱镜耦合输出的m线强度的变化 ,实现电光调制。讨论了电极间隙宽度和导波层吸收对器件性能的影响。与其他类型强度调制器相比 ,这种调制器具有简单的电极结构 ,而且调制带宽可达40GHz以上。 展开更多
关键词 双棱镜耦合 m线 电光调制器 退火质子交换波导 平面波导强度调制器
原文传递
铌酸锂低半波电压电光调制器研究 被引量:3
12
作者 陈硕 刘占元 +2 位作者 牛晓晨 李学鹏 陈开鑫 《半导体光电》 北大核心 2017年第3期342-344,共3页
对降低铌酸锂(LN)电光调制器的半波电压进行了研究,探索了利用反射结构实现低半波电压的原理。通过退火质子交换工艺在x切LN晶片上制作了反射结构的LN电光调制器。测试表明,这种反射结构的LN电光调制器在保持器件长度不变的条件下可以... 对降低铌酸锂(LN)电光调制器的半波电压进行了研究,探索了利用反射结构实现低半波电压的原理。通过退火质子交换工艺在x切LN晶片上制作了反射结构的LN电光调制器。测试表明,这种反射结构的LN电光调制器在保持器件长度不变的条件下可以降低半波电压。 展开更多
关键词 铌酸锂 电光调制器 退火质子交换 半波电压 反射结构
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缓冲质子源LiNbO_3波导折射率计算及实验 被引量:1
13
作者 王健 余才佳 +2 位作者 纪引虎 熊恒 闫鑫 《半导体光电》 北大核心 2017年第4期546-550,556,共6页
为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本。针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导... 为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本。针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率。以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算。实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002。 展开更多
关键词 集成光学 退火质子交换 铌酸锂波导 折射率分布
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光纤陀螺用单Y1.3μmLiNbO_3集成光学器件 被引量:4
14
作者 沈映欣 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期107-110,共4页
用退火质子交换法制作了用于光纤陀螺的集分束器、相位调制器、偏振器为一体的LiNbO3集成光学器件 ,介绍了器件设计考虑 ,简述了器件的工作原理 。
关键词 集成光学器件 退火质子交换 光纤陀螺 铌酸锂
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1.31μmAPE光波导及其相关器件研究
15
作者 谢绍义 阳树宗 陆荣鑫 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期420-425,共6页
利用退火质子交换技术对工作波长为1.31μm的X-切、Y-传LiNbO3单模光波导进行了实验研究与分析;测试了不同交换时间(te)与退火时间(ta)条件下的光波导近场模光强分布曲线;通过与单模光纤模场测试比较,获得了... 利用退火质子交换技术对工作波长为1.31μm的X-切、Y-传LiNbO3单模光波导进行了实验研究与分析;测试了不同交换时间(te)与退火时间(ta)条件下的光波导近场模光强分布曲线;通过与单模光纤模场测试比较,获得了与单模光纤模场匹配的退火质子交换(APE)光波导,其中光纤—波导—光纤的插入损耗最低达到3.2dB;同时利用所研制的光波导制作了相位调制器与M-Z型强度调制器,并对其低频调制特性进行了测试。 展开更多
关键词 光波导 波导模场 退火质子交换 调制器
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Mach-Zehnder Type Annealed Proton Exchange Waveguide and Coplanar Waveguide Modulation Electrode LiNbO_3 Intensity Modulator 被引量:2
16
作者 HE Jian ZHU Xue-jun 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第1期69-75,共7页
The characteristics of a conventional LiNbO3 intensity modulator made up of a Mach-Zehnder(MZ) type annealed proton exchange(APE) waveguide and coplanar waveguide(CPW) modulation electrode are presented. The APE waveg... The characteristics of a conventional LiNbO3 intensity modulator made up of a Mach-Zehnder(MZ) type annealed proton exchange(APE) waveguide and coplanar waveguide(CPW) modulation electrode are presented. The APE waveguide characteristics and their relations with process parameters are analyzed. At the same time, the electrical characteristics of modulation electrode, such as modulation voltage, microwave effective index associated with modulation bandwidth, characteristics impedance, are also investigated in detail. 展开更多
关键词 退火质子交换波导 铌酸锂亮度调制器 共平面形波导 调制电极
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光波导理论
17
《中国光学》 EI CAS 1996年第3期49-49,共1页
TN252 96031740质子交换钽酸锂光波导喇曼光谱研究=Researchon Raman spectrum of proton exchange lithiumtantalum optical waveguides[会,中]/马少杰,李玉善,孔祥贵,鄂书林,徐迈(中科院长春物理所.吉林,长春(130021))//第八届全国集... TN252 96031740质子交换钽酸锂光波导喇曼光谱研究=Researchon Raman spectrum of proton exchange lithiumtantalum optical waveguides[会,中]/马少杰,李玉善,孔祥贵,鄂书林,徐迈(中科院长春物理所.吉林,长春(130021))//第八届全国集成光学、第五届全国纤维光学、第三届全国光孤子通信与非线性导波、全国光纤传感学术交流会.—江苏.连云港,95.9采用喇曼散射光谱的方法观测并研究了纯钽酸锂晶体、质子交换光波导及热退火光波导的喇曼光谱、对实验结果进行了初步的分析和探讨。(严兰) 展开更多
关键词 光波导理论 光孤子通信 集成光学 光纤传感 非线性导波 质子交换光波导 纤维光学 光谱研究 退火质子交换波导 喇曼光谱
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光波导材料与制备
18
《中国光学》 EI CAS 2001年第1期63-64,共2页
TN252 2001010417退火质子法制作LiNbO<sub>3</sub>光波导=Fabrieation ofLiNbO<sub>3</sub> waveguides by annealing protonexchange technology[刊,中]/沈映欣(重庆光电技术研究所.重庆(400060))∥半导... TN252 2001010417退火质子法制作LiNbO<sub>3</sub>光波导=Fabrieation ofLiNbO<sub>3</sub> waveguides by annealing protonexchange technology[刊,中]/沈映欣(重庆光电技术研究所.重庆(400060))∥半导体光电.-2000,21(增刊).-75-77介绍了退火质子交换机理和制作LiNbO<sub>3</sub>光波导的工艺过程。图1参4(任延同)TN252 2001010418二阶非线性光学聚合物光波导与器件的现状与问题=Status and problems of second order 展开更多
关键词 退火质子交换 光波导材料 二阶非线性光学 技术研究所 半导体 光电子集成电路 聚合物光波导 重庆 工艺过程 共面波导型
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光波导材料与制备
19
《中国光学》 EI CAS 2001年第2期56-56,共1页
TN252 2001021122Z-切割铌酸锂质子交换平板波导的退火过程研究=Theoretical modeling and characterization ofannealed proton-exchanged planar waveguidesin Z-cut LiNbO<sub>3</sub>[刊,中]/陈险峰,谢绳武,夏宇兴,陈玉... TN252 2001021122Z-切割铌酸锂质子交换平板波导的退火过程研究=Theoretical modeling and characterization ofannealed proton-exchanged planar waveguidesin Z-cut LiNbO<sub>3</sub>[刊,中]/陈险峰,谢绳武,夏宇兴,陈玉萍,钟晓霞,陈英礼(上海交通大学应用物理系局域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室.上海(200030))//中国激光.—2000,27(7).-611-615研究了退火质子交换LiNbO<sub>3</sub> 展开更多
关键词 平板波导 退火质子交换 过程研究 光纤通信网 光通信系统 脊形光波导 国家重点实验室 离散谱折射率法 应用物理 上海交通大学
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退火质子交换
20
作者 徐宇新 李其聪(审核) 《导航与控制》 2005年第4期49-49,共1页
退火质子交换是在LiNbO3、LiTaO3等光学晶体衬底上制作光波导的重要方法之一。使LiNbO3、LiTaO3等光学晶体中的Li^+与质子源中的H^+发生部分交换,引起非寻常光折射率变大,而寻常光折射率变小,从而形成单偏振工作的光波导。为了使Li... 退火质子交换是在LiNbO3、LiTaO3等光学晶体衬底上制作光波导的重要方法之一。使LiNbO3、LiTaO3等光学晶体中的Li^+与质子源中的H^+发生部分交换,引起非寻常光折射率变大,而寻常光折射率变小,从而形成单偏振工作的光波导。为了使LiNbO3晶体的电光系数得到恢复并消除LiNbO3晶体中因H+置换Li+而引起的内应力以及减小光波导的损耗, 展开更多
关键词 退火质子交换 LINBO3晶体 LITAO3 光学晶体 光折射率 光波导 LI^+ 电光系数 H^+ 质子源
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