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镱铒共掺Al_2O_3薄膜激光退火研究
被引量:
6
1
作者
李成仁
宋世德
+3 位作者
周松强
宋昌烈
于清旭
雷明凯
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1322-1326,共5页
讨论了激光退火工艺参量对镱铒共掺Al2O3薄膜表面形貌和退火均匀性的影响。薄膜样品被置放于衰减扩束透镜的3倍焦距位置时,薄膜上8 mm半径区域内近似均匀退火;退火时间为32 s时,表面形貌与退火前基本相同。阈值退火功率为5 W,最佳退火...
讨论了激光退火工艺参量对镱铒共掺Al2O3薄膜表面形貌和退火均匀性的影响。薄膜样品被置放于衰减扩束透镜的3倍焦距位置时,薄膜上8 mm半径区域内近似均匀退火;退火时间为32 s时,表面形貌与退火前基本相同。阈值退火功率为5 W,最佳退火功率为20 W。对相同工艺制备的镱铒共掺Al2O3薄膜分别进行CO2激光退火和热退火处理,光致发光(PL)谱测量表明,前者峰值强度比后者强10倍以上,并且热退火光致发光强度随抽运功率增加出现饱和、下降,而激光退火近似随抽运功率单调线性增强。
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关键词
薄膜光学
镱铒共掺Al2O3薄膜
激光
退火
表面形貌
退火均匀性
原文传递
题名
镱铒共掺Al_2O_3薄膜激光退火研究
被引量:
6
1
作者
李成仁
宋世德
周松强
宋昌烈
于清旭
雷明凯
机构
大连理工大学物理与光电工程学院
大连理工大学材料科学与工程学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1322-1326,共5页
基金
国家自然科学基金(60477023)
辽宁省科技厅基金(20062137)资助课题
文摘
讨论了激光退火工艺参量对镱铒共掺Al2O3薄膜表面形貌和退火均匀性的影响。薄膜样品被置放于衰减扩束透镜的3倍焦距位置时,薄膜上8 mm半径区域内近似均匀退火;退火时间为32 s时,表面形貌与退火前基本相同。阈值退火功率为5 W,最佳退火功率为20 W。对相同工艺制备的镱铒共掺Al2O3薄膜分别进行CO2激光退火和热退火处理,光致发光(PL)谱测量表明,前者峰值强度比后者强10倍以上,并且热退火光致发光强度随抽运功率增加出现饱和、下降,而激光退火近似随抽运功率单调线性增强。
关键词
薄膜光学
镱铒共掺Al2O3薄膜
激光
退火
表面形貌
退火均匀性
Keywords
thin film optics
Yb-Er co-doped A1203 films
laser annealing
surface morphology
annealing uniformity
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
O433.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
镱铒共掺Al_2O_3薄膜激光退火研究
李成仁
宋世德
周松强
宋昌烈
于清旭
雷明凯
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
原文传递
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