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基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正
被引量:
1
1
作者
龚志东
王道档
+2 位作者
王朝
孔明
刘维
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期178-184,共7页
光学偏折术为光学曲面提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式。在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影响最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源...
光学偏折术为光学曲面提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式。在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影响最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源,建立各结构几何误差因素与波前像差的对应关系,并提出了一种通用的基于Zernike多项式的高精度系统结构几何误差校正方法。实验结果表明,利用所提出的结构几何误差校正方法可实现纳米量级面形检测精度。同时,所提出的校正方法可有效消除检测系统结构参数标定误差,继而可作为各种曲面、尤其是复杂自由曲面高精度检测中系统结构几何误差的通用性校正方法。
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关键词
逆哈特曼检测
自由曲面
结构几何误差校正
ZERNIKE多项式
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职称材料
题名
基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正
被引量:
1
1
作者
龚志东
王道档
王朝
孔明
刘维
机构
中国计量大学计量测试工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期178-184,共7页
基金
国家自然科学基金(51775528)
浙江省自然科学基金(LY17E050014)
+2 种基金
中国博士后科学基金(188766)
浙江省“仪器科学与技术”重中之重学科开放基金(JL150508)
广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2017-02)项目资助
文摘
光学偏折术为光学曲面提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式。在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影响最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源,建立各结构几何误差因素与波前像差的对应关系,并提出了一种通用的基于Zernike多项式的高精度系统结构几何误差校正方法。实验结果表明,利用所提出的结构几何误差校正方法可实现纳米量级面形检测精度。同时,所提出的校正方法可有效消除检测系统结构参数标定误差,继而可作为各种曲面、尤其是复杂自由曲面高精度检测中系统结构几何误差的通用性校正方法。
关键词
逆哈特曼检测
自由曲面
结构几何误差校正
ZERNIKE多项式
Keywords
reverse Hartmann test
freeform surface
misalignment calibration
Zernike polynomials
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Zernike多项式的逆哈特曼面形检测系统结构几何误差校正
龚志东
王道档
王朝
孔明
刘维
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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