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MOCVD激光诱导选择原子层外延(LALE)生长室的研究 被引量：1
1
作者 罗风光 曹明翠 +3 位作者 李洪谱 万安君 徐军 李再光 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第4期318-321,共4页
本文对 MOCVD 激光诱导选择原子层外延进行了研究,设计并制作了一种激光诱导原子层外延生长室结构,该系统能实现低温 MOCVD 生产,可形成稳定的层流,易于生长均匀的外延层,通过激光诱导可实现选择性的原子层外延.
关键词 MOCVD 激光诱导 选择原子层 外延生长
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