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薄膜热电偶的发展及其应用
被引量:
9
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作者
叶方伟
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
1995年第5期28-32,共5页
重点介绍了采用阴极溅射法制取的铂-铂铑10薄膜热电偶的最新高温应用,包括制造工艺、高温绝缘以及试验和应用结果。同时还讨了论目前正在研制过程中的薄膜透明热电偶和耐蚀薄膜热电偶的有关问题。
关键词
薄膜
热电偶
阴极溅射
薄膜
透明热电偶
下载PDF
职称材料
题名
薄膜热电偶的发展及其应用
被引量:
9
1
作者
叶方伟
机构
重庆仪表材料研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
1995年第5期28-32,共5页
文摘
重点介绍了采用阴极溅射法制取的铂-铂铑10薄膜热电偶的最新高温应用,包括制造工艺、高温绝缘以及试验和应用结果。同时还讨了论目前正在研制过程中的薄膜透明热电偶和耐蚀薄膜热电偶的有关问题。
关键词
薄膜
热电偶
阴极溅射
薄膜
透明热电偶
Keywords
thin film thermocouples,sputter,thin film transparent thermocouples,corrosion resistant thin film thermocouples
分类号
TH811 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
薄膜热电偶的发展及其应用
叶方伟
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
1995
9
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