-
题名驻波透镜聚焦原子束制作纳米图形研究
被引量:5
- 1
-
-
作者
陈元培
陈旭南
李展
陈献忠
-
机构
中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
-
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期546-549,556,共5页
-
基金
中科院知识创新基金资助项目 (A2K0 0 0 9)
微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助项目 (KFS4)
-
文摘
介绍了将激光驻波聚焦原子束技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性及像差 ,数值结果显示原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
-
关键词
驻波透镜
聚焦原子束
纳米图形
原子光学
原子光刻
透镜像差
-
Keywords
atom optics
atom lithography
atomic beams
standing wave
lens
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名中子显微镜研制成功
- 2
-
-
-
出处
《中国高校科技与产业化》
2004年第8期11-11,共1页
-
-
关键词
中子显微镜
研制
成像效果
透镜像差
-
分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于相位测量偏折术的透镜波前像差测量
被引量:8
- 3
-
-
作者
高锦瑞
李大海
赖恒
张新伟
王瑞阳
阮一郎
-
机构
四川大学电子信息学院
四川大学空天科学与工程学院
-
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第2期294-302,共9页
-
基金
国家自然科学基金面上项目(61875142)
国家自然科学基金区域创新发展联合基金(U20A20215)
四川大学工科共性学科特色方向建设计划(2020SCUNG205)。
-
文摘
提出了一种将有像差透镜当作理想薄透镜与棱镜阵列组合的模型,该模型可用于验证透射式相位测量偏折术测量透镜波前像差的可行性。ZEMAX和Matlab软件的仿真结果表明,该棱镜模型中正向光线追迹和逆向光线追迹得到的透镜波前像差近似相等。基于该结论搭建实验装置并测量了口径为75 mm的单透镜波前像差,实验结果表明,该方法仅需一台CCD相机和一台LCD显示器就能完成测量,具有设备简单、易于操作的特点,且不需要复杂的标定过程,为透镜波前像差的测量提供了一种在线检测方法。
-
关键词
测量与计量
光学检测
相位测量偏折术
透镜波前像差
棱镜模型
-
Keywords
measurement and metrology
optical inspection
phase measuring deflectometry
wavefront aberration
prism model
-
分类号
O439
[机械工程—光学工程]
-