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递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究 被引量：1
1
作者 洪芳 吴福全 +3 位作者 郝殿中 张霞 高中扬 邵俊平 《曲阜师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第1期68-70,共3页
采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜.利用法国产JobinYvonUVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段,选用适当的色散公式建立物理模型,采用递进式拟合方法,对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合,结果表明:该拟合方法使得衡... 采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜.利用法国产JobinYvonUVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段,选用适当的色散公式建立物理模型,采用递进式拟合方法,对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合,结果表明:该拟合方法使得衡量拟合结果的均方误差χ2越来越小,获得的薄膜的光学常数及厚度更准确. 展开更多
关键词 薄膜光学 椭圆偏振法 递进式拟合 光学常数
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